位移测量干涉仪 ZMI™ Series

光学激光差动

ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移。 ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳，提供了两个测量轴。 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中，支持扩展到多达 64 个测量轴。 我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。