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... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
... 概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。
特点
- 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
- 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
- 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
- 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
- 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
- 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
- 光纤电缆最长支持10
... IMS5420-TH 白光干涉仪为单晶硅片的工业厚度测量开辟了新的前景。IMS5420-TH 采用宽带超发光二极管 (SLED)，可用于测量未掺杂、掺杂和高掺杂的单晶硅片。厚度测量范围从 0.05 毫米到 1.05 毫米。可测量的气隙厚度甚至可达 4 毫米。 在半导体生产中，高精度是必不可少的。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使其达到均匀的厚度。为了持续控制厚度，我们开发了干涉仪 IMS5420 系列白光干涉仪。 这些干涉仪均由一个紧凑型传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成的主动温度控制确保了测量的高稳定性。 干涉仪既可作为厚度测量系统，也可作为多峰值厚度测量系统。多峰值厚度测量系统可测量多达五层的厚度，例如 ...
... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 如今，ZYGO 提供的技术能够在振动和空气湍流使得传统光学计量仪器很难甚至无法进行测量的恶劣环境中进行可靠的测量。 光学元件的表面形貌和平面度测量，以及光学系统和组件（如窗口、反射镜、透镜、棱镜）的波前，甚至精密加工的金属和陶瓷表面的波前测量。 标准配置包括 ...
Zygo
... 非球面光学技术在成像、传感和激光系统的设计和实施方面具有显著优势，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ 配备了可选的二级平台，支持计算机生成全息图 ...
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... ZYGO的水平轴扩束器将4英寸干涉仪的原生孔径尺寸增加到12英寸、18英寸、24英寸甚至32英寸，使干涉仪在大尺寸光学元件和光学系统鉴定中的精度得到提高。 水平大孔径系统提供了独特的能力，可以保持两个独立的测量通道；一个是原始的4英寸干涉仪孔径，另一个是扩大到32英寸的光束，实现了两个干涉仪合一的灵活性。 当配置适当的附件时，大孔径系统可用于测量表面形状和传输波前质量。 ZYGO扩束器已在世界各地部署，以满足大尺寸光学计量的最苛刻和最精确的应用。 在扩束器开发和内部生产关键部件（如超精密参考平面）方面拥有数十年的经验，确保你的应用需求得到满足并在未来得到支持。 大孔径系统组件可以从干涉仪主机中单独购买。请联系您当地的ZYGO代表，协助配置系统以满足您的计量需求。 - ...
Zygo
... 三束激光干涉测量系统，可同时精确测量长度、俯仰角和偏航角 - 灵活的长度测量系统，精度最高 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，如球面镜、平面镜反射镜等 - 测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 12.5° - 结构紧凑 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 光束距离：12 毫米 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选的可调偏转镜实现光束偏转 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 - 校准软件符合现行标准 工业和研究领域的许多应用都需要高精度的位移和角度同步测量。在固定三反射镜单元的滑块移动过程中，同时采集俯仰角、偏航角和长度测量值，可以快速、高精度地评估运动轴。快速、简便的传感器调整在这里尤为重要。 SP ...
... 用于高精度长度测量的激光干涉测量系统 - 灵活的高精度长度测量系统 - 集成光束方向检测功能，易于操作和调整 - 可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜 - 允许测量反射镜倾斜最大 ± 22.5°。 - 结构紧凑、坚固耐用 - 传感器外壳具有防水溅保护装置 - 传感器头可选择铝、不锈钢或无缝钢管材质 - 符合政府标准 - 可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本 - 通过可选接口扩展应用范围 - 广泛的触发选项 高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型激光干涉仪 ...
... 带两束平行测量光束的高稳定性差分激光干涉仪 - 最高精度的差分长度或角度测量 - 通过差分测量将环境影响降至最低 - 热长期稳定传感器，温度灵敏度 < 20 nm/K - 可使用各种光学反射器，如球面、平面镜反射器 - 测量反射镜具有较大的倾斜不变性 - 标配不锈钢传感器头 - 光束距离：21 毫米 - 广泛的触发选项 - 为 Windows 和 Linux 下的 OEM 软件提供开放式接口 我们的超稳定差分激光干涉仪 SP 5000 DI 具有独特的热稳定性，因此是研发领域（如材料特性分析）长期测量的首选。 与标准干涉仪不同，差分式激光干涉仪的参考光束从传感器头引出，与测量光束平行。这一概念使得传感器可以放置在距离实际测量位置更远的地方，而不会明显影响测量的分辨率或稳定性。这种干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，而且由于采用了差分原理，即使在正常的实验室条件下，也能达到相当的测量或光束长度。 如果使用倾斜不变反射器进行测量，长度测量范围可达数米。干涉测量系统采用模块化设计，因此可以根据不同的测量任务进行调整。 ...
... 测量站 Interferometer VI-direct 28 SUL 可以快速检测球形表面的形状或半径偏差。可选择使用 INTOMATIK-S 软件对干涉图进行评估。 - 通过 USB 3 端口与视频微型计算机直接连接 - 高分辨率数码相机（3088x2076 像素） - 曝光时间短，对振动不敏感 - 半径测量显示单元 - 一组光圈挡块 - 样品支持 XY 移位 - 用于快速预对准的查找器模式 - 易于使用 - 使用 INTOMATIK-S 进行目视评估或可选的软件支持评估 ...
MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH
... Q2激光雷达是一款先进的干涉仪，适用于汽车、坐标测量机（CMM）、校准和OEM用途。它提供高精度测量，具有65个并行通道和一个微型扫描器。它提供计量级精度和高密度数据。测量范围可达50米，并包括自动对焦和用于对齐和记录的RGB相机。 主要特点： - 65个并行通道，实现快速数据采集。 - 计量级精度。 - 测量范围可达50米。 - 自动对焦和RGB相机，便于对齐。 - 便携且坚固的设计，适用于生产线和现场使用。 优势： - 高速、非接触测量提高效率。 - 便携性适用于各种工业环境。 - ...
... 概述
HORIZON是Marposs推出的下一代干涉控制器，面向工业精密测量设计。它提供纳米级测量能力和灵活的集成选项，支持工艺优化、减少报废并加强质量控制。
主要优势
- 通过高精度反馈实现工艺优化
- 降低报废率与返工
- 纳米级分辨率提升质量控制水平
- 对不同材料和几何形状具有灵活的传感器与接口兼容性
应用
- 制造业的精密测量（半导体、3C电子、电动汽车零部件）
- 在线生产控制与实验室检测
- 对反光或透明材料的厚度与表面测量
技术规格
- 产品类型：下一代干涉控制器
- 型号：HORIZON
- 制造商：Marposs
- 测量技术：干涉法，纳米级分辨率
- 传感器兼容性：支持多种传感器和波长
- 编码器：支持最多三个编码器以实现同步多点采集
- 连接性：模拟输出、先进数字接口、支持FieldBus；USB用于数据采集和固件更新
- 同步功能：支持MASTER-SLAVE网络，用于复杂测量配置
... HPI-3D 线性激光测量系统是一种激光干涉仪，安装快速简便，可同时进行动态 3DOF 测量。HPI-3D 能够以非常高的速度进行测量，并以高精度返回测量结果。该设备是高精度激光干涉仪领域 20 多年经验的结晶。该干涉仪代表了激光测量领域的 "专有技术 "和最佳参数。所有这些都与最高的质量、丰富的附件和选项、易用性和紧凑性密切相关。 测量不再受限！线性测量系统 HPI-3D 优化了现代激光系统的可用参数。极高的移动速度、超高分辨率和高采样率使该设备甚至适用于非常苛刻的应用。 虽然目前还没有通用的测量设备，但 ...
... Teem Photonics公司已经开发并提供了一个新的紧凑、稳定和高性能的干涉仪系列，用于测量皮米级的位移和振动。 Teem Photonics的PicoMove干涉仪是基于单芯片集成的高稳定性架构，其测量结果具有内在的超低噪声。 对眼睛安全的1.55µm工作波长提供了与商业电信源的兼容性。 该传感器的设计还可以处理可见光波长，以方便光束对准。Teem提出了使用低热膨胀材料和UHV环境的封装选项。测量系统的电气部分（激光源、检测器）通过可靠的光纤尾纤进行远程控制。 > 激光信号（来自输入光纤）被分成两个臂：一个是具有光刻定义的恒定长度的参考臂，另一个是自由空间测量臂，光在移动目标上被反向反射。 ...