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... 白光干涉仪IMS5600-DS用于最高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估的特殊校准，可实现亚纳米分辨率的绝对测量。该干涉仪用于具有最高精度要求的测量任务，例如，在电子和半导体生产中。对于真空应用，Micro-Epsilon提供特殊的传感器、电缆和馈通附件。这些传感器和电缆在很大程度上是无颗粒的，甚至可以在UHV中使用。 该系统提供绝对测量值，因此也可用于阶梯轮廓的距离测量。由于采用了绝对测量，阶梯的采样具有很高的信号稳定性。当对移动物体进行测量时，脚跟、台阶和凹陷的高度差异因此可以被可靠地检测出来。该测量系统具有亚纳米级的分辨率，相对于测量范围而言，具有较大的偏移距离。 通过对透明物体的多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，可以确定玻璃和承载板之间的距离。然后，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。 IMS5600-DS干涉仪可用于真空环境和洁净室中的测量任务，干涉仪的分辨率达到亚纳米范围。 ...
MICRO-EPSILON
... 白光干涉仪用于亚微米精度的可靠厚度测量 新型 IMS5200-TH 白光干涉仪为快速、可靠的厚度测量提供了新的可能性。该控制器具有智能评估功能，可对薄至 1 µm 的透明层进行精确的厚度测量。高达 24 kHz 的测量速率使 IMS5200 型号成为工业应用的理想之选。纳米级精度，可测量薄至 1 µm 的透明层。 ...
MICRO-EPSILON
... 概述
interferoMETER IMS5400-DS 是一款用于工业环境的白光干涉仪，适用于绝对距离与位移的纳米级测量。系统在较大偏移距离下实现nanometer级绝对测量，并支持对透明或多层结构的多峰评估。
特点
- 纳米级精度的绝对距离测量，适用于阶梯轮廓检测
- 透明物体的多峰测距（MP型号可同时评估最多14个距离值）
- 紧凑且坚固的传感器，可选90°光路型号
- 测量速率高达6 kHz，适应高速工业流程
- 金属外壳控制器，采用被动冷却，可安装于DIN导轨
- 通过网页界面轻松配置（无需安装客户端软件）
- 光纤电缆最长支持10
MICRO-EPSILON
... 白光干涉仪用于亚微米精度的稳定厚度测量 新型 IMS5400-TH 白光干涉仪为工业厚度测量开辟了新的前景。该控制器具有智能评估功能，能够以最高精度测量透明物体的厚度。 ...
MICRO-EPSILON
... IMS5420-TH 白光干涉仪为单晶硅片的工业厚度测量开辟了新的前景。IMS5420-TH 采用宽带超发光二极管 (SLED)，可用于测量未掺杂、掺杂和高掺杂的单晶硅片。厚度测量范围从 0.05 毫米到 1.05 毫米。可测量的气隙厚度甚至可达 4 毫米。 在半导体生产中，高精度是必不可少的。一个重要的工艺步骤是研磨坯料，从而使其达到均匀的厚度。为了持续控制厚度，我们开发了干涉仪 IMS5420 系列白光干涉仪。 这些干涉仪均由一个紧凑型传感器和一个控制器组成，安装在坚固的工业级外壳中。控制器中集成的主动温度控制确保了测量的高稳定性。 干涉仪既可作为厚度测量系统，也可作为多峰值厚度测量系统。多峰值厚度测量系统可测量多达五层的厚度，例如 ...
MICRO-EPSILON
... 这种大臂干涉仪是课堂演示所用干涉仪的一种经济实用的替代品。高架干涉仪在激光和白光的作用下都能正常工作，可以进行课程中的所有主要实验。反射镜和分光镜之间腾出的空间还可以进行其他类型干涉仪难以进行的实验和测量。 ...
OVIO INSTRUMENTS
... 宽敞的空间更便于开展体验活动 这种大臂干涉仪是课堂演示干涉仪的经济型替代品。该干涉仪在激光和白光条件下均可正常工作，可进行课程中的所有主要实验。反射镜和分光镜之间腾出的空间还可以进行其他类型干涉仪难以进行的实验和测量。 ...
OVIO INSTRUMENTS
... 分布式偏振串扰 (X-Talk) 分析仪 (PXA-1000) 是白光干涉仪的增强版本，旨在通过沿偏振保持 (PM) 光纤分析应力引起的偏振交叉耦合来获取空间分辨应力信息。 其正在申请专利的光学设计消除了强烈的零阶干扰，并降低了传统白光干涉仪中常见的多耦合干扰，这两种干扰都可能导致测量信号出现鬼峰值。 去除鬼峰可使 PXA-1000 明确识别实际 x-talk 峰的幅度和位置，从而实现比传统白光干涉仪更高的测量灵敏度、更高的动态范围和更高的空间测量精度。 PXA-1000 还能够将 PM 光纤本身用作检测介质，无需沿光纤放置多个光纤光栅。 ...