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... 50 多年来，移相 干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些 干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光 干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光 干涉仪的一次飞跃。 移相 干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau ...
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... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 ...
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... 为动态测量提供可靠的计量方案 DynaFiz 动态计量 干涉仪 专为在振动频繁的环境中进行可靠的 干涉测量而设计；其多功能性和灵活性足以满足广泛的应用需求，包括从高端望远镜测试到主动对准光学系统的实时相位反馈等需求。 DynaFiz® 的高光效光学设计与 ZYGO 高功率 HeNe 激光源相结合，可在“冻结”振动的高摄像机快门速度下运行。这种动态能力可在对于传统的相移技术来说过于恶劣的环境中提供可靠的计量。 全相干光学设计，可实现最高的光效率，提高动态性能 具有 ...
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... 干涉仪的分辨率已达其上限。Verifire HD 和 Verifire HDX 干涉仪系统可对光学表面进行无与伦比的中空间频率表征。 仅仅在系统中增加更多的像素是不够的，我们需要严格的光学设计，才能确保 干涉仪的像素限制性能，并捕捉最苛刻的应用所需的表面细节。 ZYGO 专有的 干涉系统相位传递函数（ITF）表征方法确保了性能与预期相符，可提供您应用所需的功能。 ZYGO ...
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... 。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。 用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外 干涉仪系统在设计波长下的测试。 ZYGO 长期以来被公认为是世界上 干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的 干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR 和 LWIR 波长的系统。 ZYGO 还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。 主要特点 工作波长范围广 ...
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... 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用 干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF 1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口 干涉仪）） 2.3k ...
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... ，广泛应用于...和航空航天、半导体曝光和检测系统以及医疗成像系统等行业。 生产支持这些应用的非球面离不开精密计量。 毕竟，就非球面光学而言，无法测量的东西就无法制造。 Verifire Asphere+ (VFA+) 利用 Fizeau 干涉测量法的优势，为轴对称非球面提供了精确、高分辨率、快速和全孔径测量的独特组合。 VFA+ 提供了一个灵活的测量平台，只需改变透射球即可测量一系列轴对称非球面。VFA+ 配备了可选的二级平台，支持计算机生成全息图 ...
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... 大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式 干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。 占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 英寸（300 ...
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... ZYGO的水平轴扩束器将4英寸 干涉仪的原生孔径尺寸增加到12英寸、18英寸、24英寸甚至32英寸，使 干涉仪在大尺寸光学元件和光学系统鉴定中的精度得到提高。 水平大孔径系统提供了独特的能力，可以保持两个独立的测量通道；一个是原始的4英寸 干涉仪孔径，另一个是扩大到32英寸的光束，实现了两个 干涉仪合一的灵活性。 当配置适当的附件时，大孔径系统可用于测量表面形状和传输波前质量。 ZYGO扩束器已在世界各地部署，以满足大尺寸光学计量的最苛刻和最精确的应用。 ...
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... ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式 干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位，实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件，并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列 干涉仪主机兼容，您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 ...
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