OEM应用干涉仪 SP 5000 DI/F

亚纳米级位移测量长度测量光学

超稳定、紧凑型 SP 5000 DI/F 差分干涉仪专为需要在长期内实现高度稳定长度测量的应用而设计。其紧凑的传感器设计即使在狭小空间内也能实现长期稳定的调整和安装，因此该精密测量系统非常适合作为闭环控制中的激光尺使用。 该应用需要一个外部参考点，通常将其放置在测量范围的中间位置，以实现最佳的测量值稳定性。该干涉仪的基本原理基于 SP 5000 DI 系列，因此也能实现亚纳米级别的长度分辨率。 测量范围可达数米，且可使用 SP 系列的反射器。 通过差分测量最大限度地减少环境影响 热稳定性极高的传感器设计，温度灵敏度 < 10 nm/K 可使用多种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器 测量反射镜具有极强的倾斜不敏感性 结构紧凑、坚固耐用 标配不锈钢传感器头 光路距离：14 mm 可提供OEM版本、OEM软件及真空版本 可通过可选接口用作反馈系统 丰富的触发选项