平面磁电管

圆柱

安格斯特罗姆科技（Angstrom Sciences）因在磁控溅射应用领域提供的尖端技术而享誉国际。如今，我们开发了一种方法，可将我们获得专利的异形磁体设计应用于您现有的圆柱形磁控管，从而将“安格斯特罗姆优势™”（Angstrom Advantage™）融入您的工艺流程。 经济实惠的解决方案 圆柱形磁体改装方案不仅能提供上述所有优势，其成本仅为更换现有圆柱形组件成本的三分之一左右。 •磁体完全封装在不锈钢内 > •高效水流 •兼容所有现有靶材设计 •无缝集成 •可调均匀性 •先进的周转效率带来更平坦的侵蚀轮廓 •改进的沉积轮廓可减少腔室壁上的碎屑积聚 •更高的磁场强度可在较低功率水平下实现典型的沉积速率