安格斯特罗姆科学公司提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控管。但我们深知,每种应用都有其独特之处。正因如此,我们开发了一种独特的模块化方案,可专门根据您的具体要求进行定制。
更多能力
安格斯特罗姆科技(Angstrom Sciences)在内部完成磁控管的设计、工程开发、制造和测试。因此,我们能够保证最高质量,并对您的定制项目实施全面管控。
更先进的技术
安格斯特罗姆科技采用有限元分析(FEA)磁场建模技术,定制磁场分布以满足您的工艺
规范。无论您需要高沉积速率和吞吐量、高均匀性和靶材利用率,还是二者之间的完美平衡,
我们都将确保“安格斯特罗姆优势™”能为您的工艺发挥最大效益。
无限可能
无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空
腔室,安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。
无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空
全面功率兼容性
低阻抗磁控管头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。
腔室,Angstrom Sciences 随时准备为您提供协助。
全面承诺
Angstrom Sciences 提供的所有磁控管均享有长达两年的工艺和材料缺陷保修。
磁控管是我们的核心业务,我们随时准备确保您满意。
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