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... 安格斯特罗姆科技（Angstrom Sciences）因在磁控溅射应用领域提供的尖端技术而享誉国际。如今，我们开发了一种方法，可将我们获得专利的异形磁体设计应用于您现有的圆柱形磁控管，从而将“安格斯特罗姆优势™”（Angstrom Advantage™）融入您的工艺流程。 经济实惠的解决方案 圆柱形磁体改装方案不仅能提供上述所有优势，其成本仅为更换现有圆柱形组件成本的三分之一左右。 •磁体完全封装在不锈钢内 > •高效水流 •兼容所有现有靶材设计 •无缝集成 •可调均匀性 •先进的周转效率带来更平坦的侵蚀轮廓 •改进的沉积轮廓可减少腔室壁上的碎屑积聚 •更高的磁场强度可在较低功率水平下实现典型的沉积速率 ...
... SIDABRE 开发具有平面和圆柱形几何形状的单磁控和双磁控，可作为单独的组件或部件集成到系统中。 这些设备可配备特殊功能，例如夹紧或粘合目标、直接或间接冷却以及外部或内部电源和冷却水连接。 矩形和圆柱形目标的最大可用长度为 2.0 米， 圆形目标的最大可用直径为 400 毫米。 根据特定工艺的要求，我们开发不同类型的圆柱形可旋转磁控子，在目标或磁铁上进行旋转。 我们的真空涂层系统配备了必要的手段，通过定制的解决方案来满足客户的特殊需求。 SIDRAMBE 可以为配备有或不带电源和控制系统的磁控管系统以及 ...
... CM 是我们最紧凑的外部安装端组。 它可以处理高达 1000 毫米的目标，额定功率高达 20 千瓦直流或 80 千赫 MFAC。 CM 外部安装端组结合了高性能和可靠性，结合了非常紧凑和轻量化的设计。 特点 可定制的驱动轴长度 紧凑灵活的设计方 便使用的水封筒 专利的电力输送技术 专利的目标灌水和排水 简单的设计，减少部件 磁铁棒外部调整到任何角 度基板覆盖范围比内部端板 适合大多数腔室设计。 所有公用设施均为外部设 备，并在目标转换期间保持连接高包装密度；220 mm 空间内的双阴极（80 ...