圆柱磁电管

平面

SIDABRE 开发具有平面和圆柱形几何形状的单磁控和双磁控，可作为单独的组件或部件集成到系统中。 这些设备可配备特殊功能，例如夹紧或粘合目标、直接或间接冷却以及外部或内部电源和冷却水连接。 矩形和圆柱形目标的最大可用长度为 2.0 米， 圆形目标的最大可用直径为 400 毫米。 根据特定工艺的要求，我们开发不同类型的圆柱形可旋转磁控子，在目标或磁铁上进行旋转。 我们的真空涂层系统配备了必要的手段，通过定制的解决方案来满足客户的特殊需求。 SIDRAMBE 可以为配备有或不带电源和控制系统的磁控管系统以及 PEM 和供气系统供电系统提供直流、脉冲直流或 MF 电源供电。 我们在设备设计方面拥有丰富的丰富经验，使 SIDRABE 能够额外提供现有真空沉积系统的改装、升级和改造等服务。