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... 凭借“安格斯特罗姆优势™”（Angstrom Advantage™）以及众多其他设计特点，安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的环形磁控管已成为溅射行业的公认标准，这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控管成为任何新建或改造应用的理想选择，包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 标准接头 我们采用 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的线性磁控管采用了我们完全封装的、具有专利的、经过特殊设计的钕铁硼（NdFeB）稀土磁铁，这些磁铁能将磁场均匀分布于整个靶材表面，从而提高靶材利用率，并最大限度地减少来自靶材表面的颗粒污染。 此外，我们所有的磁控溅射阴极均采用湍流水流设计，以实现最佳的热传导，并最大限度地减少因靶材表面热点导致的溅射不均匀现象。这些特性，加上集成工艺气体入口、坚固的阳极壁以及尖端材料的应用，确保了您的溅射工艺拥有无与伦比的性能和可靠性。 随着越来越多的行业发现磁控溅射在速度、可控性以及经济效益方面的优势，Angstrom ...
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... 安格斯特罗姆科技（Angstrom Sciences）提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控管。但我们深知，每种应用都有其独特之处。正因如此，我们开发了一种独特的模块化方案，可专门根据您的具体要求进行定制。 圆柱形磁控管在玻璃镀膜行业中长期以来备受信赖，既能形成均匀的薄膜，又能最大限度地提高靶材利用率。如今，安格斯特罗姆科技公司开发了一款紧凑、轻便且经济实惠的圆柱形磁控管，专门设计用于为平板显示器、太阳能电池和卷材镀膜应用提供同样的优势。 定制设计 提供即插即用和侧装两种类型的完整组件，背管直径为 ...
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... 概述
用于溅射系统和真空腔的磁控溅射阴极，设计用于在磁控溅射工艺中作为阴极使用。
简要说明
Socrate Industrie制造的磁控溅射阴极，适用于工业溅射设备。组件用于磁控溅射应用，并随附用于系统集成的文档。
图片 / 媒体（来自页面）
- 主产品图片文件名：Cathode_magnetron.png（显示磁控溅射阴极）
文档
- 可用产品文档：Magnetron.pdf
特性 ...
... SIDABRE 开发具有平面和圆柱形几何形状的单磁控和双磁控，可作为单独的组件或部件集成到系统中。 这些设备可配备特殊功能，例如夹紧或粘合目标、直接或间接冷却以及外部或内部电源和冷却水连接。 矩形和圆柱形目标的最大可用长度为 2.0 米， 圆形目标的最大可用直径为 400 毫米。 根据特定工艺的要求，我们开发不同类型的圆柱形可旋转磁控子，在目标或磁铁上进行旋转。 我们的真空涂层系统配备了必要的手段，通过定制的解决方案来满足客户的特殊需求。 SIDRAMBE 可以为配备有或不带电源和控制系统的磁控管系统以及 ...
... 我们最大的内部安装端组，SC 可处理高达 4000 mm 的目标，额定功率高达 200 kW 直流或 80 kHz MFAC。 SCI 内部安装端块具有高可靠性和简单易于维护的设计。 单端配置减少了旋转和静态密封件的数量，这是旋转阴极中最常见的失效模式之一。 我们独特的灌水和排水功能可以改善目标冷却和在冲击时全排水目标水。 这种设计消除了端块内部电镀腐蚀的可能性，从而导致漏水和短路。 溅射部件的 SC 端块可安装在任何新的涂层机上，也可轻松替换其他旋转端块或平面系统。 特点 专利输送技术 独特的目标附件方法 耐用，使用寿命长的旋转密封件 行业标准安装盖 非专有目标设计 专利目标填水 ...
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