旋转磁电管 SC-Series

用于离子溅射

我们最大的内部安装端组，SC 可处理高达 4000 mm 的目标，额定功率高达 200 kW 直流或 80 kHz MFAC。 SCI 内部安装端块具有高可靠性和简单易于维护的设计。 单端配置减少了旋转和静态密封件的数量，这是旋转阴极中最常见的失效模式之一。 我们独特的灌水和排水功能可以改善目标冷却和在冲击时全排水目标水。 这种设计消除了端块内部电镀腐蚀的可能性，从而导致漏水和短路。 溅射部件的 SC 端块可安装在任何新的涂层机上，也可轻松替换其他旋转端块或平面系统。 特点 专利输送技术 独特的目标附件方法 耐用，使用寿命长的旋转密封件 行业标准安装盖 非专有目标设计 专利目标填水 abd 排水 磁铁棒可以在任何角度设置 最高效益市场上的可靠性 易于安装或从竞争对手端部改造最 快的目标变化可用 1 小时的年度维护; 3 小时的终端部块重建 最低维护成本 使用任何供应商的目标 高功率且无感应加热影响-无刷灰 无电镀腐蚀