旋转磁电管

圆柱

安格斯特罗姆科技（Angstrom Sciences）提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控管。但我们深知，每种应用都有其独特之处。正因如此，我们开发了一种独特的模块化方案，可专门根据您的具体要求进行定制。 圆柱形磁控管在玻璃镀膜行业中长期以来备受信赖，既能形成均匀的薄膜，又能最大限度地提高靶材利用率。如今，安格斯特罗姆科技公司开发了一款紧凑、轻便且经济实惠的圆柱形磁控管，专门设计用于为平板显示器、太阳能电池和卷材镀膜应用提供同样的优势。 定制设计 提供即插即用和侧装两种类型的完整组件，背管直径为 3 英寸（75 毫米）或 5 英寸（125 毫米），长度可达四米；源极间距最小，可提供多源直列阵列，适用于紧凑型高吞吐量生产系统。 经济实惠且完全兼容的投资 ONYX-Revolution™ 采用通用且经济高效的磁体设计，可通过定制化交付周期适应任何靶材类型。此外，该产品采用现成组件设计，确保低成本、长期可靠的投资回报。 专利技术 Angstrom Sciences 的专利轮廓磁体技术可在源极与基板之间形成更接近正常的沉积轮廓。改进后的沉积轮廓可减少沉积室壁上的碎屑堆积。 此外，Angstrom Sciences 的磁体阵列具有更高的磁场强度，使用户能够以较低的功率运行溅射工艺，从而达到典型的沉积速率。