圆形磁电管

对于需要基片长时间暴露在高热环境中的应用，Angstrom Sciences 的高温圆形磁控管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化，使阴极能够在高热条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。 高温圆形磁控管专为 10-9mTorr 范围内的基本压力而设计，并经过专门设计，可在整个热循环过程中承受可能出现的变化，而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。