定制磁电管
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... 凭借“安格斯特罗姆优势™”(Angstrom Advantage™)以及众多其他设计特点,安格斯特罗姆科学公司(Angstrom Sciences)的环形磁控管已成为溅射行业的公认标准,这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控管成为任何新建或改造应用的理想选择,包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 标准接头 我们采用 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 安格斯特罗姆科学公司(Angstrom Sciences)的线性磁控管采用了我们完全封装的、具有专利的、经过特殊设计的钕铁硼(NdFeB)稀土磁铁,这些磁铁能将磁场均匀分布于整个靶材表面,从而提高靶材利用率,并最大限度地减少来自靶材表面的颗粒污染。 此外,我们所有的磁控溅射阴极均采用湍流水流设计,以实现最佳的热传导,并最大限度地减少因靶材表面热点导致的溅射不均匀现象。这些特性,加上集成工艺气体入口、坚固的阳极壁以及尖端材料的应用,确保了您的溅射工艺拥有无与伦比的性能和可靠性。 随着越来越多的行业发现磁控溅射在速度、可控性以及经济效益方面的优势,Angstrom ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 安格斯特罗姆科学公司提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控管。但我们深知,每种应用都有其独特之处。正因如此,我们开发了一种独特的模块化方案,可专门根据您的具体要求进行定制。 更多能力 安格斯特罗姆科技(Angstrom Sciences)在内部完成磁控管的设计、工程开发、制造和测试。因此,我们能够保证最高质量,并对您的定制项目实施全面管控。 更先进的技术 安格斯特罗姆科技采用有限元分析(FEA)磁场建模技术,定制磁场分布以满足您的工艺 规范。无论您需要高沉积速率和吞吐量、高均匀性和靶材利用率,还是二者之间的完美平衡, 我们都将确保“安格斯特罗姆优势™”能为您的工艺发挥最大效益。 无限可能 无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空 腔室,安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。 无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流、脉冲直流、HiPIMS ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 旋转磁控管是圆形磁控管的变体,其中的磁铁组围绕中心轴进行机械旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的,能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况;在旋转磁控管中,整个靶面都会被转速在 20 到 600 RPM 之间的磁铁组扫除干净。 Angstrom Sciences 提供一系列旋转磁控管,直径从 4 英寸(100 毫米)到 16 英寸(406 毫米)不等,设计有可调磁铁配置,可实现工艺优化和均匀性增强。我们的磁控管可安装在内部或外部。 旋转式磁控管可在不移动基片的情况下提供出色的均匀性。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... Angstrom Sciences 为几乎所有标准溅射工艺提供最先进的磁控管。但我们知道,每种应用都是不同的。因此,我们开发了一种独特的模块化方法,专门用于满足您的规格要求。 更多能力 Angstrom Sciences 在内部设计、设计、制造和测试磁控管。因此,我们能够保证最高的质量,并控制您的定制项目。 Angstrom Sciences 使用有限元分析 (FEA) 磁体建模来定制磁体轮廓,以满足您的工艺规范。 规格。无论您是需要高速率和高产能、高均匀性和目标利用率,还是需要两者之间的完美平衡,我们都能为您量身定做。 我们都将确保 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 当今的光盘行业面临着日益复杂的生产挑战。尽管对薄膜均匀性的要求始终不变,但生产过程的经济性却随着材料成本的变化而大相径庭。 对于许多磁盘制造商来说,这意味着要安装两种截然不同的系统--一种用于实现低成本材料的最大产量,另一种用于实现贵金属和其他昂贵目标材料的高目标利用率。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控管采用可插入式磁铁阵列设计,因此技术人员可以在单一系统上实现标准化,只需更换阵列即可优化性能结果。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控管可根据工艺要求提供各种尺寸。 ...
Angstrom Sciences, Inc.