脉冲磁电管

定制线性

安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的线性磁控管采用了我们完全封装的、具有专利的、经过特殊设计的钕铁硼（NdFeB）稀土磁铁，这些磁铁能将磁场均匀分布于整个靶材表面，从而提高靶材利用率，并最大限度地减少来自靶材表面的颗粒污染。 此外，我们所有的磁控溅射阴极均采用湍流水流设计，以实现最佳的热传导，并最大限度地减少因靶材表面热点导致的溅射不均匀现象。这些特性，加上集成工艺气体入口、坚固的阳极壁以及尖端材料的应用，确保了您的溅射工艺拥有无与伦比的性能和可靠性。 随着越来越多的行业发现磁控溅射在速度、可控性以及经济效益方面的优势，Angstrom Sciences 正在开发相关设备，以最大限度地提高这些规模更大、速度更快的制造工艺的产量。 更宏大的解决方案 对于需要对超宽基板进行镀膜或必须实现极高吞吐量的用户而言，线性磁控管提供了完美的在线解决方案。 全面功率兼容性 低阻抗喷射头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流（Mid-Frequency DC）、脉冲直流（Pulsed DC）、HiPIMS 及微波功率。 标准接头 我们可采用 ISO NW 标准接头、Conflat® 金属密封法兰或定制 O 型圈密封法兰进行安装。所有辅助系统通常保持在大气压下，并通过标准 O 型圈压缩接头接入，便于在任何真空系统中轻松安装。 久经考验的性能 这些磁控管凭借其无与伦比的性能，使安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）成为行业标杆。