随着越来越多的行业发现磁控溅射的速度、可控性和底线优势,Angstrom Sciences 正在开发各种工具,以最大限度地提高这些大型、快速制造工艺的产量。
更广泛的解决方案
对于需要在极宽的基底上进行镀膜或需要实现极高吞吐量的用户,线性磁控管提供了完美的解决方案。
专利优势
Angstrom Sciences 的线性磁控管采用我们获得专利的全封装异型钕铁硼稀土磁铁和湍流水流,可提供无与伦比的性能。
标准配件
我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施均保持在大气压下,并通过标准 O 型环压缩接头接入,便于在任何真空系统中安装。
全功率兼容性
低阻抗头提供射频、直流、中频直流、脉冲直流和微波功率兼容性。
经过验证的性能
这些磁控管具有无与伦比的性能,使 Angstrom Sciences 成为行业的新标准。
在极低的压力和极高的功率下进行标准操作,可在任何应用中实现均匀性、利用率和速率的完美平衡。
任意长度
Angstrom Sciences 的线性阴极可提供各种靶宽,从 1"/25mm 到 16"/406mm 不等,长度可达 185"/4700mm 。当然,我们完全有能力设计和制造定制磁控管,满足您的任何生产需求。
---