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... 凭借“安格斯特罗姆优势™”（Angstrom Advantage™）以及众多其他设计特点，安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的环形磁控管已成为溅射行业的公认标准，这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控管成为任何新建或改造应用的理想选择，包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 标准接头 我们采用 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的线性磁控管采用了我们完全封装的、具有专利的、经过特殊设计的钕铁硼（NdFeB）稀土磁铁，这些磁铁能将磁场均匀分布于整个靶材表面，从而提高靶材利用率，并最大限度地减少来自靶材表面的颗粒污染。 此外，我们所有的磁控溅射阴极均采用湍流水流设计，以实现最佳的热传导，并最大限度地减少因靶材表面热点导致的溅射不均匀现象。这些特性，加上集成工艺气体入口、坚固的阳极壁以及尖端材料的应用，确保了您的溅射工艺拥有无与伦比的性能和可靠性。 随着越来越多的行业发现磁控溅射在速度、可控性以及经济效益方面的优势，Angstrom ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 大功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）是脉冲溅射技术领域的一项相对较新的进展，它利用能量极高、持续时间极短的脉冲产生等离子体放电，从而使大部分待溅射原子发生电离。随后可对电离流进行引导，以更好地控制涂层性能。 在 HiPIMS 工艺中，以脉冲形式向溅射靶施加高峰值电压和高电流密度，脉冲持续时间较短，频率较低，且相邻脉冲周期之间间隔较长。 脉冲持续时间通常在 50 至 200 微秒之间，频率在 500 赫兹左右，而循环间隔时间可短至几百分之一秒。 这使得占空比保持在 10% 左右，从而在保持工艺稳定性的同时将加热影响降至最低。 使用 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 安格斯特罗姆科学公司提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控管。但我们深知，每种应用都有其独特之处。正因如此，我们开发了一种独特的模块化方案，可专门根据您的具体要求进行定制。 更多能力 安格斯特罗姆科技（Angstrom Sciences）在内部完成磁控管的设计、工程开发、制造和测试。因此，我们能够保证最高质量，并对您的定制项目实施全面管控。 更先进的技术 安格斯特罗姆科技采用有限元分析（FEA）磁场建模技术，定制磁场分布以满足您的工艺 规范。无论您需要高沉积速率和吞吐量、高均匀性和靶材利用率，还是二者之间的完美平衡， 我们都将确保“安格斯特罗姆优势™”能为您的工艺发挥最大效益。 无限可能 无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 腔室，安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。 无论您需要定制磁控管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS ...
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... 间接冷却磁控管在圆形阴极的冷却水与溅射靶之间设置了一道隔墙。该隔墙形成了一道永久性的水-真空密封，可防止因靶材被“溅射穿透”而可能导致的泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控管配备了螺纹靶材夹具和阳极护罩，可适应不同厚度的溅射靶材。凭借螺纹设计，靶材更换既快捷又简便，无需任何辅助工具或设备。 此外，螺纹靶材夹紧装置和阳极屏蔽罩共同构成了紧凑的圆形磁控管头。这使得安格斯特罗姆科学公司的圆形磁控管能够安装在空间受限的真空腔内，并且与传统磁控管相比，其溅射的基板面积更大。 间接冷却磁控管推荐用于低功率应用，是研发应用的理想选择。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在，我们已经开发出一种方法，可将您现有的 MRC 型磁控管改装为我们获得专利的异型磁铁设计，从而将 Angstrom Advantage™ 应用于您的工艺中。 经济型解决方案 MRC 磁体改装可提供我们的异型磁体技术的性能优势，而成本大约只有更换整个现有 MRC 组件的三分之一。 -完全封装的磁体 -紊乱的水流 -提高热效率 -快速简便的插入式设计 -无缝集成 -高利用率阵列 - 35% 或更高的目标利用率 -高均匀性阵列 ...
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... Angstrom Sciences 为几乎所有标准溅射工艺提供最先进的磁控管。但我们知道，每种应用都是不同的。因此，我们开发了一种独特的模块化方法，专门用于满足您的规格要求。 更多能力 Angstrom Sciences 在内部设计、设计、制造和测试磁控管。因此，我们能够保证最高的质量，并控制您的定制项目。 Angstrom Sciences 使用有限元分析 (FEA) 磁体建模来定制磁体轮廓，以满足您的工艺规范。 规格。无论您是需要高速率和高产能、高均匀性和目标利用率，还是需要两者之间的完美平衡，我们都能为您量身定做。 我们都将确保 ...
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... 主要 用于线性加速器的机械调谐脉冲磁控管。 频率范围 （冷却水 40 ˚） -2993 至 3002 兆赫 峰值输出功率-2.0 兆瓦 磁体-独立 输出-至 10 号（WR 284 波导）（72.14 x 34.04 毫米内部） 冷却-水 ...
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