Angstrom Sciences脉冲磁电管
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... Angstrom Sciences 的圆形磁控 管已被公认为溅射行业的标准,因为它具有 Angstrom Advantage™ 和许多其他设计特点,在配置和工艺性能方面几乎提供了无限的可能性。 其紧凑的设计使我们的圆磁控 管成为任何新应用或改装应用的理想选择,包括用于最小真空室的最复杂的簇组件。 低阻抗磁头兼容射频、直流、中频直流、 脉冲直流、HiPIMS 和微波功率。 我们使用 ISO NW 标准接头以及 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 对于需要在极宽的基底上进行镀膜或需要实现极高吞吐量的用户,线性磁控 管提供了完美的解决方案。 专利优势 Angstrom Sciences 的线性磁控 管采用我们获得专利的全封装异型钕铁硼稀土磁铁和湍流水流,可提供无与伦比的性能。 标准配件 我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施均保持在大气压下,并通过标准 O 型环压缩接头接入,便于在任何真空系统中安装。 全功率兼容性 低阻抗头提供射频、直流、中频直流、 脉冲直流和微波功率兼容性。 经过验证的性能 这些磁控 管具有无与伦比的性能,使 ...
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... 高功率 脉冲磁控溅射或 HiPIMS 是 脉冲溅射技术的最新进展,它利用能量极高、持续时间极短的 脉冲产生等离子体放电,使大部分溅射原子电离。电离后的通量可以被引导,从而增强对涂层特性的控制。 Angstrom Sciences 已经开发出一系列溅射阴极,能够承受超过 1500 瓦特/平方英寸的极端功率密度,适用于连续长时间的生产应用。Angstrom Sciences 的高 脉冲功率 脉冲磁控溅射阴极在阳极体和安装法兰中加入了额外的冷却通道,与我们获得专利的湍流目标冷却一起,在工艺操作过程中保持最佳的冷却效果 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 针对您的工艺进行优化。 无论您是需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管,还是需要完整的真空室,Angstrom Sciences 都能满足您的需求。 真空室,Angstrom Sciences 都将竭诚为您服务。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管,还是完整的真空室,Angstrom Sciences 都能为您提供帮助。 室,Angstrom ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 间接冷却磁控 管在圆形阴极冷却水和溅射靶之间有一个中间壁。这种中间壁可形成永久性的水-真空密封,防止靶材被 "溅射穿 "而发生泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸(25 毫米至 100 毫米)间接冷却式圆形磁控 管采用螺纹式靶夹和阳极屏蔽,可调节以适应不同厚度的溅射靶。螺纹设计上的靶件更换快捷方便,无需辅助工具或装置。 此外,螺纹式靶夹和阳极罩还能形成一个紧凑的圆形磁控 管头。这样,Angstrom ...
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... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在,我们已经开发出一种方法,可将您现有的 MRC 型磁控 管改装为我们获得专利的异型磁铁设计,从而将 Angstrom Advantage™ 应用于您的工艺中。 经济型解决方案 MRC 磁体改装可提供我们的异型磁体技术的性能优势,而成本大约只有更换整个现有 MRC 组件的三分之一。 -完全封装的磁体 -紊乱的水流 -提高热效率 -快速简便的插入式设计 -无缝集成 -高利用率阵列 ...
Angstrom Sciences, Inc.
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