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... Advantage™）以及众多其他设计特点，安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的环形磁控 管已成为溅射行业的公认标准，这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控 管成为任何新建或改造应用的理想选择，包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、 脉冲直流、HiPIMS ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 对于需要对超宽基板进行镀膜或必须实现极高吞吐量的用户而言，线性磁控 管提供了完美的在线解决方案。 全面功率兼容性 低阻抗喷射头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流（Mid-Frequency DC）、 脉冲直流（Pulsed DC）、HiPIMS 及微波功率。 标准接头 我们可采用 ISO NW 标准接头、Conflat® 金属密封法兰或定制 O 型圈密封法兰进行安装。所有辅助系统通常保持在大气压下，并通过标准 O 型圈压缩接头接入，便于在任何真空系统中轻松安装。 久经考验的性能 这些磁控 管凭借其无与伦比的性能，使安格斯特罗姆科学公司 ...
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... 大功率 脉冲磁控溅射（HiPIMS）是 脉冲溅射技术领域的一项相对较新的进展，它利用能量极高、持续时间极短的 脉冲产生等离子体放电，从而使大部分待溅射原子发生电离。随后可对电离流进行引导，以更好地控制涂层性能。 在 HiPIMS 工艺中，以 脉冲形式向溅射靶施加高峰值电压和高电流密度， 脉冲持续时间较短，频率较低，且相邻 脉冲周期之间间隔较长。 ...
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... 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 腔室，安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、 脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 腔室，Angstrom Sciences 随时准备为您提供协助。 全面承诺 Angstrom ...
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... 间接冷却磁控 管在圆形阴极的冷却水与溅射靶之间设置了一道隔墙。该隔墙形成了一道永久性的水-真空密封，可防止因靶材被“溅射穿透”而可能导致的泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控 管配备了螺纹靶材夹具和阳极护罩，可适应不同厚度的溅射靶材。凭借螺纹设计，靶材更换既快捷又简便，无需任何辅助工具或设备。 此外，螺纹靶材夹紧装置和阳极屏蔽罩共同构成了紧凑的圆形磁控 管头。这使得安格斯特罗姆科学公司的圆形磁控 管能够安装在空间受限的真空腔内 ...
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... Angstrom Sciences 因其为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉全球。现在，我们已经开发出一种方法，可将您现有的 MRC 型磁控 管改装为我们获得专利的异型磁铁设计，从而将 Angstrom Advantage™ 应用于您的工艺中。 经济型解决方案 MRC 磁体改装可提供我们的异型磁体技术的性能优势，而成本大约只有更换整个现有 MRC 组件的三分之一。 -完全封装的磁体 -紊乱的水流 -提高热效率 -快速简便的插入式设计 -无缝集成 -高利用率阵列 ...
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... 针对您的工艺进行优化。 无论您是需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是需要完整的真空室，Angstrom Sciences 都能满足您的需求。 真空室，Angstrom Sciences 都将竭诚为您服务。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是完整的真空室，Angstrom Sciences 都能为您提供帮助。 真空室，Angstrom ...
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