脉冲磁电管

圆形

间接冷却磁控管在圆形阴极冷却水和溅射靶之间有一个中间壁。这种中间壁可形成永久性的水-真空密封，防止靶材被 "溅射穿 "而发生泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控管采用螺纹式靶夹和阳极屏蔽，可调节以适应不同厚度的溅射靶。螺纹设计上的靶件更换快捷方便，无需辅助工具或装置。 此外，螺纹式靶夹和阳极罩还能形成一个紧凑的圆形磁控管头。这样，Angstrom Sciences 的圆形磁控管就可以安装在狭小的真空室中，与传统磁控管相比，它可以溅射更大表面积的基片。 间接冷却磁控管推荐用于低功率应用，是研究和开发应用的理想选择。 有关间接冷却磁控管的更多信息，请致电 412-469-8466 或在线联系我们。