脉冲磁电管

圆形

间接冷却磁控管在圆形阴极的冷却水与溅射靶之间设置了一道隔墙。该隔墙形成了一道永久性的水-真空密封，可防止因靶材被“溅射穿透”而可能导致的泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控管配备了螺纹靶材夹具和阳极护罩，可适应不同厚度的溅射靶材。凭借螺纹设计，靶材更换既快捷又简便，无需任何辅助工具或设备。 此外，螺纹靶材夹紧装置和阳极屏蔽罩共同构成了紧凑的圆形磁控管头。这使得安格斯特罗姆科学公司的圆形磁控管能够安装在空间受限的真空腔内，并且与传统磁控管相比，其溅射的基板面积更大。 间接冷却磁控管推荐用于低功率应用，是研发应用的理想选择。