脉冲磁电管

定制圆形

凭借“安格斯特罗姆优势™”（Angstrom Advantage™）以及众多其他设计特点，安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的环形磁控管已成为溅射行业的公认标准，这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控管成为任何新建或改造应用的理想选择，包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 标准接头 我们采用 ISO NW 标准接头以及 Conflat® 金属密封法兰。所有介质均保持在大气压下，并通过标准 O 型圈压缩接头进行连接，便于在任何真空系统中安装。 全尺寸系列 圆形磁控管源提供从 1 英寸（25 毫米）到 16 英寸（406 毫米）及更大的靶材直径，可提供标准或定制配置。 快速、简便的靶材更换 我们的小型圆形阴极上配备了获得专利的螺纹靶材夹紧装置和阳极屏蔽罩，使您无需辅助工具即可更换靶材。其内置的可调节性还允许您安装不同厚度的靶材，而无需使用任何间隔装置。 低压、高功率 ONYX® 磁控管可在极低压力下（低至 10⁻⁴ 托）运行，且我们的直接冷却设计可在连续运行时提供高达 250 瓦/平方英寸（30 瓦/平方厘米）的功率密度。