磁电管

在二极管溅射中，不使用磁铁，因此没有磁场来控制等离子体。这意味着等离子在整个真空系统中自由流动，几乎侵蚀了靶材的整个表面区域，从而提高了靶材的利用率。不过，这也意味着溅射薄膜颗粒可以在整个腔体内自由移动，而不是直接移动到基底上。这会大大增加制程时间，而且由于没有电子约束，基底会产生更多热量。 Angstrom Sciences 提供各种阴极尺寸的二极管。