钨溅射靶材

Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管设计，包括我们的 "ONYX- UHV"，其特点是全金属密封、陶瓷绝缘体和可拆卸磁体阵列。全焊接结构允许烘烤温度达到 450ºC。ONYX- UHV "圆形产品的靶直径从 1 英寸（25 毫米）到 16 英寸（400 毫米）不等，与标准 ONYX 高真空阴极的所有附件、磁铁组和功能兼容。ONYX-UHV 线性阴极还提供定制靶尺寸，以满足任何应用要求。此外，还提供 "ONYX- HT"（标准 ONYX 阴极的高温变体，带有用于高温操作的全陶瓷绝缘体，具有 "接近 "超高真空的性能）。 这些磁控管与直流、射频、脉冲直流和 HiPIMS 电源兼容。此外，还提供各种选件，包括插入长度、快门、气体入口和交叉污染屏蔽。