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... （Angstrom Advantage™）以及众多其他设计特点，安格斯特罗姆科学公司（Angstrom Sciences）的环形磁控 管已成为溅射行业的公认标准，这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控 管成为任何新建或改造应用的理想选择，包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS ...
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... 对于需要对超宽基板进行镀膜或必须实现极高吞吐量的用户而言，线性磁控 管提供了完美的在线解决方案。 全面功率兼容性 低阻抗喷射头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流（Mid-Frequency DC）、脉冲直流（Pulsed DC）、HiPIMS 及微波功率。 标准接头 我们可采用 ISO NW 标准接头、Conflat® 金属密封法兰或定制 O 型圈密封法兰进行安装。所有辅助系统通常保持在大气压下，并通过标准 O 型圈压缩接头接入，便于在任何真空系统中轻松安装。 久经考验的性能 这些磁控 管凭借其无与伦比的性能，使安格斯特罗姆科学公司 ...
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... Sciences）提供适用于几乎所有标准溅射工艺的最先进磁控 管。但我们深知，每种应用都有其独特之处。正因如此，我们开发了一种独特的模块化方案，可专门根据您的具体要求进行定制。 圆柱形磁控 管在玻璃镀膜行业中长期以来备受信赖，既能形成均匀的薄膜，又能最大限度地提高靶材利用率。如今，安格斯特罗姆科技公司开发了一款紧凑、轻便且经济实惠的 圆柱形磁控 管，专门设计用于为平板显示器、太阳能电池和卷材镀膜应用提供同样的优势。 定制设计 提供即插即用和侧装两种类型的完整组件，背 管直径为 ...
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... 大功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）是脉冲溅射技术领域的一项相对较新的进展，它利用能量极高、持续时间极短的脉冲产生等离子体放电，从而使大部分待溅射原子发生电离。随后可对电离流进行引导，以更好地控制涂层性能。 在 HiPIMS 工艺中，以脉冲形式向溅射靶施加高峰值电压和高电流密度，脉冲持续时间较短，频率较低，且相邻脉冲周期之间间隔较长。 脉冲持续时间通常在 50 至 200 微秒之间，频率在 500 赫兹左右，而循环间隔时间可短至几百分之一秒。 这使得占空比保持在 10% 左右，从而在保持工艺稳定性的同时将加热影响降至最低。 使用 ...
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... 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 腔室，安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器，还是完整的真空 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频（RF）、直流（DC）、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 腔室，Angstrom Sciences 随时准备为您提供协助。 全面承诺 Angstrom ...
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... 在 Angstrom Sciences，我们设计、设计和制造世界上最先进、最可靠的磁控溅射阴极。我们为产品质量提供业界最长的 2 年工艺和材料保修服务。 我们还致力于确保您的磁控 管在整个使用寿命期间具有最高质量的性能。因此，我们为您在 ONYX® 或其他磁控 管组件上遇到的任何紧急情况或维护需求提供全面的维修和改造服务。 -源拆卸 -机械和电气损坏检查 -配合和公差检查 -更换 O 形环 -螺钉更换 -全面清洁 -磁铁检查：封装、清洁和测绘 -重新组装 -测试：真空、电气和水（提供测试表） - ...
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... 旋转磁控 管是圆形磁控 管的变体，其中的磁铁组围绕中心轴进行机械旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的，能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况；在旋转磁控 管中，整个靶面都会被转速在 20 到 600 RPM 之间的磁铁组扫除干净。 Angstrom Sciences 提供一系列旋转磁控 管，直径从 ...
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... HRC / HLK、CVC、 圆柱形、MRC 和任何其他 OEM 阴极改装为我们获得专利的异型磁铁设计，从而为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。利用我们的设计和先进的建模能力，我们可以设计出性能更高的产品，提供更好的靶材利用率、更高的均匀性和更少的微粒污染。 Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控 管、高质量沉积材料和全面的技术支持，帮助客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。 我们随时准备确保您的满意。因此，我们为所有磁控 管提供业内最长的两年保修服务 ...
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... 间接冷却磁控 管在圆形阴极的冷却水与溅射靶之间设置了一道隔墙。该隔墙形成了一道永久性的水-真空密封，可防止因靶材被“溅射穿透”而可能导致的泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控 管配备了螺纹靶材夹具和阳极护罩，可适应不同厚度的溅射靶材。凭借螺纹设计，靶材更换既快捷又简便，无需任何辅助工具或设备。 此外，螺纹靶材夹紧装置和阳极屏蔽罩共同构成了紧凑的圆形磁控 管头。这使得安格斯特罗姆科学公司的圆形磁控 管能够安装在空间受限的真空腔内 ...
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... 对于需要基片长时间暴露在高热环境中的应用，Angstrom Sciences 的高温圆形磁控 管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化，使阴极能够在高热条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。 高温圆形磁控 管专为 10-9mTorr 范围内的基本压力而设计，并经过专门设计，可在整个热循环过程中承受可能出现的变化，而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。 ...
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