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... Angstrom Sciences 的圆形磁控 管已被公认为溅射行业的标准，因为它具有 Angstrom Advantage™ 和许多其他设计特点，在配置和工艺性能方面几乎提供了无限的可能性。 其紧凑的设计使我们的圆磁控 管成为任何新应用或改装应用的理想选择，包括用于最小真空室的最复杂的簇组件。 低阻抗磁头兼容射频、直流、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 和微波功率。 我们使用 ISO NW 标准接头以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施均保持在大气压下，并通过标准 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 对于需要在极宽的基底上进行镀膜或需要实现极高吞吐量的用户，线性磁控 管提供了完美的解决方案。 专利优势 Angstrom Sciences 的线性磁控 管采用我们获得专利的全封装异型钕铁硼稀土磁铁和湍流水流，可提供无与伦比的性能。 标准配件 我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施均保持在大气压下，并通过标准 O 型环压缩接头接入，便于在任何真空系统中安装。 全功率兼容性 低阻抗头提供射频、直流、中频直流、脉冲直流和微波功率兼容性。 经过验证的性能 这些磁控 管具有无与伦比的性能，使 ...
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... Angstrom Sciences 的磁铁阵列还能提供更高的磁场强度，从而使用户能够以更低的功率运行溅射工艺，以达到典型的沉积速率。 从本质上讲， 圆柱形磁控 管可容纳的目标材料数量是具有相同空间面积的平面磁控 管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资，靶材利用率高达 85%。此外，在较低功率水平下运行通常可节省 20% 的功率。 ...
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... 可在靶材寿命期间保持靶材表面的场强一致，这对 HIPIMS 工艺中减少电弧和优化溅射材料电离至关重要。 这些特点以及固体阳极结构使其在要求苛刻的应用中（如 HiPIMS 或任何大功率长时间运行的应用）具有一致的可重复性能。 HiPIMS 磁控 管直接冷却，有圆形、线形和 圆柱形设计。 ...
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... Advantage™ 能够优化您的工艺。 我们都将确保 Angstrom Advantage™ 针对您的工艺进行优化。 无论您是需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是需要完整的真空室，Angstrom Sciences 都能满足您的需求。 真空室，Angstrom Sciences 都将竭诚为您服务。 无论您需要定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管，还是完整的真空室，Angstrom ...
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... 在 Angstrom Sciences，我们设计、设计和制造世界上最先进、最可靠的磁控溅射阴极。我们为产品质量提供业界最长的 2 年工艺和材料保修服务。 我们还致力于确保您的磁控 管在整个使用寿命期间具有最高质量的性能。因此，我们为您在 ONYX® 或其他磁控 管组件上遇到的任何紧急情况或维护需求提供全面的维修和改造服务。 -源拆卸 -机械和电气损坏检查 -配合和公差检查 -更换 O 形环 -螺钉更换 -全面清洁 -磁铁检查：封装、清洁和测绘 -重新组装 -测试：真空、电气和水（提供测试表） - ...
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... 旋转磁控 管是圆形磁控 管的变体，其中的磁铁组围绕中心轴进行机械旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的，能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况；在旋转磁控 管中，整个靶面都会被转速在 20 到 600 RPM 之间的磁铁组扫除干净。 Angstrom Sciences 提供一系列旋转磁控 管，直径从 ...
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... HRC / HLK、CVC、 圆柱形、MRC 和任何其他 OEM 阴极改装为我们获得专利的异型磁铁设计，从而为您的工艺带来 Angstrom Advantage™。利用我们的设计和先进的建模能力，我们可以设计出性能更高的产品，提供更好的靶材利用率、更高的均匀性和更少的微粒污染。 Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控 管、高质量沉积材料和全面的技术支持，帮助客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。 我们随时准备确保您的满意。因此，我们为所有磁控 管提供业内最长的两年保修服务 ...
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... 间接冷却磁控 管在圆形阴极冷却水和溅射靶之间有一个中间壁。这种中间壁可形成永久性的水-真空密封，防止靶材被 "溅射穿 "而发生泄漏。 Angstrom Sciences 的 1 英寸至 4 英寸（25 毫米至 100 毫米）间接冷却式圆形磁控 管采用螺纹式靶夹和阳极屏蔽，可调节以适应不同厚度的溅射靶。螺纹设计上的靶件更换快捷方便，无需辅助工具或装置。 此外，螺纹式靶夹和阳极罩还能形成一个紧凑的圆形磁控 管头。这样，Angstrom ...
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... 对于需要基片长时间暴露在高热环境中的应用，Angstrom Sciences 的高温圆形磁控 管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化，使阴极能够在高热条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。 高温圆形磁控 管专为 10-9mTorr 范围内的基本压力而设计，并经过专门设计，可在整个热循环过程中承受可能出现的变化，而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。 ...
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