Angstrom Sciences定制磁电管
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... (Angstrom Advantage™)以及众多其他设计特点,安格斯特罗姆科学公司(Angstrom Sciences)的环形磁控 管已成为溅射行业的公认标准,这些特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。 多功能、紧凑型设计 紧凑的设计使我们的环形磁控 管成为任何新建或改造应用的理想选择,包括适用于最小真空室的最复杂集群组件。 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流、脉冲直流、HiPIMS ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 对于需要对超宽基板进行镀膜或必须实现极高吞吐量的用户而言,线性磁控 管提供了完美的在线解决方案。 全面功率兼容性 低阻抗喷射头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流(Mid-Frequency DC)、脉冲直流(Pulsed DC)、HiPIMS 及微波功率。 标准接头 我们可采用 ISO NW 标准接头、Conflat® 金属密封法兰或 定制 O 型圈密封法兰进行安装。所有辅助系统通常保持在大气压下,并通过标准 O 型圈压缩接头接入,便于在任何真空系统中轻松安装。 久经考验的性能 这些磁控 管凭借其无与伦比的性能,使安格斯特罗姆科学公司 ...
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... 无论您需要 定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空 腔室,安格斯特罗姆科学公司都随时准备为您提供协助。 无论您需要 定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体分配器,还是完整的真空 全面功率兼容性 低阻抗磁控 管头兼容射频(RF)、直流(DC)、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 以及微波功率。 腔室,Angstrom ...
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... 旋转磁控 管是圆形磁控 管的变体,其中的磁铁组围绕中心轴进行机械旋转。这种装置最初是为半导体应用而开发的,能以尽可能小的阴极直径对固定基板进行均匀镀膜。这项技术的其他应用还包括重新沉积在靶面上的材料会在生长的薄膜中产生缺陷的情况;在旋转磁控 管中,整个靶面都会被转速在 20 到 600 RPM 之间的磁铁组扫除干净。 Angstrom Sciences 提供一系列旋转磁控 管,直径从 ...
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... 还是需要两者之间的完美平衡,我们都能为您量身定做。 我们都将确保 Angstrom Advantage™ 针对您的工艺进行优化。 无论您是需要 定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管,还是需要完整的真空室,Angstrom Sciences 都能满足您的需求。 真空室,Angstrom Sciences 都将竭诚为您服务。 无论您需要 定制磁控 管、安装硬件、法兰、快门组件、气体歧 管,还是完整的真空室,Angstrom ...
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... 这意味着要安装两种截然不同的系统--一种用于实现低成本材料的最大产量,另一种用于实现贵金属和其他昂贵目标材料的高目标利用率。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控 管采用可插入式磁铁阵列设计,因此技术人员可以在单一系统上实现标准化,只需更换阵列即可优化性能结果。 Angstrom Sciences 的 CD / DVD 磁控 管可根据工艺要求提供各种尺寸。 ...
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