旋转磁电管 CM

平面用于离子溅射

CM 是我们最紧凑的外部安装端组。 它可以处理高达 1000 毫米的目标，额定功率高达 20 千瓦直流或 80 千赫 MFAC。 CM 外部安装端组结合了高性能和可靠性，结合了非常紧凑和轻量化的设计。 特点 可定制的驱动轴长度 紧凑灵活的设计方 便使用的水封筒 专利的电力输送技术 专利的目标灌水和排水 简单的设计，减少部件 磁铁棒外部调整到任何角 度基板覆盖范围比内部端板 适合大多数腔室设计。 所有公用设施均为外部设 备，并在目标转换期间保持连接高包装密度；220 mm 空间内的双阴极（80 mm ID 目标） 驱动电机可以上下安装或向内安装，或向外安装 高功率无感应式加热冲击-无刷灰 快速、简单、内部维护 允许共溅射、更紧密的等离子耦合，并限制屏蔽涂层