侧挂式磁电管 MM Series

旋转

MM 是我们的中等尺寸外部安装端板。 它可以处理高达 2500 毫米（支持）的目标，额定功率高达 100 kW 直流或 80 kHz MFAC。 MM 系列外部安装端块采用与我们的 MC-系列端块相同的专利技术，在紧凑的设计中提供出色的价值、性能和可靠性 特点可 定制的驱动轴长度 紧凑且灵活的设计方 便使用的水封盒获得专利的供电技术 专利的目标注水和排水 简单的设计，减少部件的部件， 磁铁棒外部调节到任何角度 优势 比内 部端块更宽的衬底覆盖范围适合大多数腔室设计。目标更换 高包装密度；350 mm 空间中的双阴极 驱动电机可上下安装或向内安装，或向外安装 高功率，无感应加热冲击-无刷灰尘 快速、简单、内部维护 允许共溅射、更紧密的等离子耦合和限制屏蔽涂层