退火炉 200

氧化扩散钟形

从小型实验和研究（R&D）到大规模生产，这些炉子可以根据用户的需要进行设计。 卧式炉可用于太阳能电池和光伏发电系统（PV）的生产，也可用于硅片。 从实验性使用到大规模生产，可提供各种设备配置 批量：可加工25至150片硅片 实施1至4堆炉配置，以利用有限的可用空间 可提供2至8英寸和300毫米的晶圆尺寸。 提供用于低温和中高温的LGO加热器，用于高温的HGC加热器，以获得良好的温度性能。 根据客户的使用情况、空间和预算，提出设备配置建议。 简单且装备精良的控制系统 这些水平炉的设计可以满足用户的要求，从3、4、6和8英寸硅片和125毫米和156毫米方形电池的实验和研究（R&D）到大规模生产。除了硅片，这些炉子还可用于太阳能电池和光伏发电系统（PV）的生产，使用POCl3、Br3等进行磷扩散、硼扩散、热氧化、湿氧化、干氧化、退火等。