室式炉 VF-5300H

退火氮化清洁

一个能够进行高温加工的立式炉，是功率器件制造的理想选择。支持氧氮化和尺寸达8英寸的晶圆。具有自动晶圆转移机制，可用于大规模生产。 特点 支持最大75个晶圆（200毫米/8英寸）或最大75个晶圆（200毫米/8英寸）或最大100个晶圆（150毫米/6英寸）。100个晶圆（150毫米/6英寸），并可在大规模生产的生产线上使用。 支持广泛的晶圆尺寸，最大可达8英寸。 能够在晶圆附近进行温度监测。 炉子内部具有我们专有的无金属结构。 支持不同的氧化/氧氮化工艺的连续加工（湿/干氧化、H2退火、NH3氮化、NO/N2O氧氮化）。 炉膛清洁机制（选项） VF-5300H是一种立式炉，每批最多可以加工100片晶圆，晶圆尺寸范围从3到8英寸。精心挑选的硬件和控制系统功能使其能够在大规模生产的生产线上使用。炉子内部具有我们专有的无金属结构。VF-5300H能够进行高温处理，使其成为功率器件制造的理想选择。它还可以进行氧氮化处理。