退火炉 VF-3000H

橱柜式电动气氛受控

一个能够进行超高温加工的立式炉，是功率器件制造的理想选择。支持3-6英寸晶圆，并有一个自动晶圆转移机制。可用于从研发到大规模生产的各种应用。 特点 支持从小批量到50个晶圆的批量大小，以及从研发到大规模生产线的应用。 支持从3到6英寸的广泛的晶圆尺寸。 炉子内部具有我们专有的无金属结构。 能够在晶圆附近进行温度监测。 提供一个N2负载锁作为标准功能。 高产量的盒对盒运输 带沟槽圆角的H2气氛退火可作为一个选项。 VF-3000H是一个垂直炉，可以处理从小批量到50个晶圆的批次，以及从3到8英寸的各种晶圆尺寸。精心选择的硬件和控制系统功能使其应用范围从研发到大规模生产线上的使用。炉子内部具有我们专有的无金属结构。VF-3000H能够进行高温处理，使其成为功率器件制造的理想选择。它还可以进行氧氮化处理。