退火炉 VF-5300HLP

室式高温立式

一个能够进行超高温加工的立式炉，是功率器件制造的理想选择。支持6至8英寸的晶圆，并有一个自动晶圆转移机制。可用于大规模生产。 特点 每批最多可支持100个晶圆，可用于大规模生产的生产线。 支持从6到8英寸的广泛的晶圆尺寸。 炉子内部具有我们专有的无金属结构。 能够在晶圆附近进行温度监测。 提供一个N2负载锁作为标准功能。 高产量的盒对盒运输 带沟槽圆角的H2气氛退火可作为一个选项。 VF-5300HLP是一种立式炉，每批最多可以处理100片晶圆，晶圆尺寸范围从6到8英寸。精心挑选的硬件和控制系统功能使其能够在大规模生产的生产线上使用。炉子内部具有我们专有的无金属结构。VF-5300HLP支持超高温的活化退火工艺。