室式炉 VF-3000H

退火氮化高温

可进行高温处理的立式炉，是电力设备制造的理想选择。 支持高达 8 英寸尺寸的渗氧和晶圆。 具有自动晶圆传递机构，可用于从研发到批量生产的各种应用。 特点 支持从小批量到 50 个晶圆的批量规模，以及从研发到批量生产线的应用。 支持各种不同尺寸的晶圆，最大可达 8 英寸。 可在晶圆附近进行温度监测。 炉内部采用我们专有的无金属结构。 支持不同氧化/氧化过程的串行加工（湿/干氧化、H2 退火、NH3 氮化、NO/N2O 氧化）。 室内清洁装置（可选）