室式炉 CLH Series

熟化老化退火

通过耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，在清洁环境中实现高温烘烤。 采用热风循环系统，可高度精确地进行晶圆和玻璃基板烘烤/老化、聚酰亚胺固化和退火。 特 点安装 了耐热高性能过滤器和我们独特的冷却装置，以实现高温烘烤。 当温度稳定时，室内可以保持 100 级清洁度。 热风机有两种类型：水平循环的前侧鼓风机（V 型）和侧侧鼓风机（III 型）。 两者均可实现高热效率和良好的温度均匀性。 这种类型的烤箱非常适合半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化和其他要求高精度的热处理。 惰性气体可以被引入到室内，用作惰性气体烤箱。