钟形炉 206A

退火热量氧化

这种卧式炉适用于太阳能电池和光伏（PV）电池的生产。每批200至400片硅片，可大规模加工100至156个方形硅片。 特点 在国内市场占有率第一 可处理100至200毫米的方形硅片 批量加工：可加工200至400个晶圆（取决于平坦区长度和晶圆间距） 快速加热和冷却，使用KTS独有的LGO加热器降低功率 这种太阳能电池和光伏（PV）电池制造水平炉加工125毫米见方和156毫米见方的光伏电池以及6英寸和8英寸晶圆。作为太阳能电池和光伏（PV）电池生产的最佳炉子，它可以使用POCl3、Br3和其他材料进行磷扩散、硼扩散、热原氧化、湿式氧化、干式氧化、退火和其他晶体系统热加工。