晶圆检查机 NovusEdge®

工业用于包装业裂纹

NovusEdge系统包括模块化配置，可对晶圆的边缘、凹槽和背面进行快速、可靠的检测。 产品概述 NovusEdge系统为当前和先进节点的...无图案晶圆的边缘和背面提供高灵敏度检测。多个模块可以配置在同一个自动化平台上，以提高产量，同时保持较小的占地面积，提高拥有成本。自动化平台和检测模块的边缘抓取处理方案提供了晶圆制造所需的清洁度。可选的高灵敏度槽口检测可以添加到配置中。检测到的缺陷会在运行时自动分类和分档，以减少操作员的人工审查。 该系统被设计成一个多用途的检查和分拣系统，用于300毫米无图案晶圆的线端出库质量检查。该系统可以根据可自由定义的配方对晶圆进行识别、检查和分类。 应用 - 在晶圆生产现场对无图案的晶圆进行过程检查。 - 在外包分装和测试供应商、集成设备制造商和铸造厂对未印制的晶圆进行入厂检查。 - 与测试晶圆一起进行的工艺工具鉴定和监测。 规格 - 亚微米级的边缘灵敏度 - 背面灵敏度低至纳米级 - 全覆盖缺口检测 - 雾度 - 分拣能力 - 灵活的工具配置 - 自动缺陷分类，客户可定义缺陷等级