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光学干涉仪 MetroCell
激光

光学干涉仪 - MetroCell - Zygo - 激光
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产品规格型号

技术参数
激光, 光学

产品介绍

MetroCell 是一款功能强大的垂直向下“下视”式干涉仪工作站，具有 5 轴电动和可编程的零件对准工作台，包括Z方向 800 mm 的行程以及集成的被动隔振系统。 MetroCell 在 Z 方向上有一个 2 轴 DMI，是目前最精确的球面曲率半径测量平台，同时能够测量不确定度 < 0.001% of radius value.

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