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Zygo光学干涉仪
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... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量 光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计,建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合,实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来, 光学计量技术取得了很大的进步。 ...
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... 为动态测量提供可靠的计量方案 DynaFiz 动态计量 干涉仪 专为在振动频繁的环境中进行可靠的 干涉测量而设计;其多功能性和灵活性足以满足广泛的应用需求,包括从高端望远镜测试到主动对准 光学系统的实时相位反馈等需求。 DynaFiz® 的高光效 光学设计与 ZYGO 高功率 HeNe 激光源相结合,可在“冻结”振动的高摄像机快门速度下运行。这种动态能力可在对于传统的相移技术来说过于恶劣的环境中提供可靠的计量。 全相干 光学设计,可实现最高的光效率,提高动态性能 具有 ...
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... 干涉仪的分辨率已达其上限。Verifire HD 和 Verifire HDX 干涉仪系统可对 光学表面进行无与伦比的中空间频率表征。 仅仅在系统中增加更多的像素是不够的,我们需要严格的 光学设计,才能确保 干涉仪的像素限制性能,并捕捉最苛刻的应用所需的表面细节。 ZYGO 专有的 干涉系统相位传递函数(ITF)表征方法确保了性能与预期相符,可提供您应用所需的功能。 ZYGO ...
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... 光学成像的应用广泛,种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。 用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求,而它们都受益于在红外 干涉仪系统在设计波长下的测试。 ZYGO 长期以来被公认为是世界上 干涉测试仪器的先行者,已经设计和制造了许多特殊装备的 干涉仪系统,包括NIR、SWIR、MWIR ...
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... Verifire™ MST 可对 光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用 干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析 广泛的横向分辨率,包括像素限制的 光学设计,可提供最佳的 ITF 1.2k ...
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... 大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式 干涉仪工作站,可轻松测试直径达 300 mm 的平面 光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用,其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位,而无需定制夹具。 占地面积小,内置隔振系统,并配有控制器显示器支架,只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站,用于测量直径达 12 英寸(300 mm)的平面 光学表面面形,如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 ...
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... ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面 光学器件打造的立式 干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位,实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台,即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件,并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列 干涉仪主机兼容,您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 ...
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... MetroCell 是一款功能强大的垂直向下“下视”式 干涉仪工作站,具有 5 轴电动和可编程的零件对准工作台,包括Z方向 800 mm 的行程以及集成的被动隔振系统。 MetroCell 在 Z 方向上有一个 2 轴 DMI,是目前最精确的球面曲率半径测量平台,同时能够测量不确定度 < 0.001% of radius value. ...
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... ZYGO 的标准 干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数 干涉仪可以支持直通或直角测量方向,并且可以在真空中工作。 该装置会测量回射器目标,用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性 干涉仪,以满足不同的空间限制要求。例如:十字刻线台、龙门系统、转向镜 该装置会测量平面镜目标,用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜 干涉仪具有高稳定性,可减少热误差。例如:晶圆台、堆叠工作台系统 该装置会测量折射率的变化, ...
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... ZMI™ 位移测量板利用由 ZMI™ 激光源驱动的 干涉仪发出的光信号来计算位移。 ZMI™ 501A 有一个便利的独立外壳,提供了两个测量轴。 ZMI™ 2400、4000 和 4100 系列板可提供亚纳米级的分辨率,适用于最具挑战性的位置计量应用。这些板卡可以模块化地添加到 VME 机箱中,支持扩展到多达 64 个测量轴。 我们荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除 DMI 系统中常见的固有非线性误差,从而达到最高的测量精度。 ...
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