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... 50 多年来，移相 干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些 干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光 干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光 干涉仪的一次飞跃。 移相 干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau ...
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... Verifire™ 干涉仪系统可快速可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 Verifire™ 系统采用真正的激光菲索设计，建立在 ZYGO 在表面形貌计量方面无与伦比的经验的基础上。ZYGO 制造的 HeNe 激光源与 ZYGO 的专利采集算法和功能齐全的 Mx™ 计量软件相结合，实现了高精度的计量和易于使用的分析功能 车间里的可靠计量 近年来，光学计量技术取得了很大的进步。 在过去，人们需要小心翼翼地控制环境的影响，才能获得可靠的测量。 ...
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... 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是唯一一个可以同时测量多个表面形貌的商用 干涉仪系统，可以保持相对表面信息，并快速提供多个表面的结果。 主要特点 同时进行表面和波前表征，还可进行精确的面与面之间的测量，如 TTV 和楔角 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析 广泛的横向分辨率，包括像素限制的光学设计，可提供最佳的 ITF 1.2k x 1.2k（包括分立变焦，可实现高达 3 倍的光学变焦（适用于进口 干涉仪）） 2.3k ...
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... 将非球面形状功能扩展到非对称自由曲面和离轴非球面光学器件。 新功能以增强用户体验为重点，您可以轻松设置新测量、浏览测量数据和结果以及诊断生产问题。Mx™ 软件可实现高效的研发和原型阶段，并通过简单的一键设置、对齐和测量功能改进生产应用。 - 适用于光学元件托盘的多部分自动测量 - 作为 "普通 " 菲佐 干涉仪使用，具有极精确的曲率半径轨 - 经济高效的非球面测量解决方案，与未来兼容--可将现有的 VFA 系统升级为 VFA+！ ...
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... 大口径、小占地面积 – Verifire XL 是一款一站式 干涉仪工作站，可轻松测试直径达 300 mm 的平面光学元器件。 这款完全集成的系统易于使用，其重型倾斜平台可提供可重复的零件定位，而无需定制夹具。 占地面积小，内置隔振系统，并配有控制器显示器支架，只占用很小的车间地板空间。 独立的大口径工作站，用于测量直径达 12 英寸（300 mm）的平面光学表面面形，如镜子、窗片、半导体晶片、晶圆卡盘和密封平面。 主要特点 12 英寸（300 ...
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... ZYGO 的 Verifire VTS 是一个专门为球面光学器件打造的立式 干涉仪工作站。 垂直向上“上视”式工作站通过重力作用将测试样件固定到位，实现快速取放测量。 集成的被动隔振系统和花岗岩底座确保了一个坚如磐石的计量平台，即使在生产环境中也能达到最高性能。 1 米行程的电动 Z 工作台可以快速自动放置测试部件，并实现曲率半径测量。 VTS 与一系列 干涉仪主机兼容，您可以根据您的生产或开发需求选择合适的性能参数。 ...
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