Physik Instrumente/德国PI位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... - 与电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...

运行行程: 100, 200 µm

... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...

... - 分辨率高达 20 nrad，位置稳定性极佳 - 光束偏转达 4 mrad - 各种不同的材料，用于调整平台和反射镜之间的 CTE - 平行运动学，可实现更高的精度和动态性能 - 亚毫秒级响应时间 - 闭环版本可提高线性度 - 出色的温度稳定性 应用领域 - 图像处理/稳定 - 光学捕捉 - 大偏转角激光扫描/光束转向 - 激光调谐 - 光学滤波器/开关 - 光学器件 - 光束稳定 采用 PICMA® 压电致动器，使用寿命长 PICMA® 压电致动器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... - 节省空间，重量轻 - 导向精度高 - 传感器分辨率高达 10 纳米 - 自锁定，静止时不发热 - 低噪音运行 精密级线性定位平台 PILine® 平台特别适用于需要快速精确定位的应用场合。关闭时，自锁驱动装置使平台位置保持机械稳定。因此大大降低了能耗和发热量。电池供电的低占空比应用或对热敏感的应用都能从这些特性中受益。轴的位置由编码器和光学基准开关测量，可实现可靠的重复运动。压电电机的驱动原理及其电气操作成本低廉，并且可以定制。 PILine® 超声波压电电机 PILine® 超声波压电电机的一个组成部分是一个压电致动器，该致动器通过一个耦合元件预载到一个可移动的导轨流道上。压电陶瓷致动器在 ...

运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...

运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...

运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm

... 宽度：114 毫米，行程范围达 610 毫米 精密滚珠丝杠，最大承重 50 公斤 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能，减小了跟踪误差，加快了稳定时间。 同步伺服电机 这些电机在较大的转速范围内具有高定位精度和高过载能力。高扭矩和低惯性确保了驱动器的高动态性能。这些电机的使用寿命长、性能高、坚固耐用，在工业自动化应用中效果极佳。 步进电机 功率大、振动小的两相步进电机即使在没有位置控制的情况下也能实现精确定位。 选项 步进电机或同步伺服电机 保持制动器 旋转编码器，增量式或绝对测量式 折叠式传动系统，可减少总长度 可选附件L-812.TT1 ...

运行行程: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
重复精度: 0.25, 2 µm

... 适用真空度高达 10-6 hPa 采用折叠式驱动，结构非常紧凑 闭环直流电机 非接触式基准和限位开关 可直接安装 XY 装置 紧凑型线性平台，用途广泛 折叠式带驱动直线运动平台，结构紧凑。透明孔径为 10 mm Ø，可直接安装 XY 装置，无需转接板。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，导轨和主轴的润滑采用了放气极少的材料。有了这种材料以及 PI V6 真空等级的其他改进，该定位器可在 10-6hPa 下使用。 驱动装置 闭环直流减速电机 间隙补偿螺纹主轴 位置测量 电机轴上的旋转编码器 非接触式霍尔效应基准和限位开关 应用领域 真空室。研究光束线仪器显微镜电子组装和检测 ...

运行行程: 32 mm

... - 宽度仅 32 毫米，高度仅 8 毫米 - 使用增量式编码器进行直接位置测量，分辨率为 0.75 µrad - 最小增量运动可达 3 µrad - 旋转范围 >360 - 速度 45 °/s 产品描述 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在其位置上。直接作用在转轮上的驱动装置可实现最大 ...