自动聚焦位移台

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... - 与电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...

运行行程: 100, 200 µm

... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... iniSCAN 系列 MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构，无需额外的控制盒 可根据客户要求选择定制的照明和成像机构 ...

运行行程: 50 mm
速度: 2.5 mm/s

... 平面XY平台，60毫米行程，90毫米孔径，1.1微米重复性，6公斤负载 带孔径的平板结构对称XY平台 KDT180是一个普遍适用的平台，它以极平的设计和90 x 90 mm的大孔径而令人信服。光圈使差分测量排除了平台的残余误差或透射光测量。因此，该平台特别适用于计量和光学应用。 紧凑而平坦的大孔径 - 是显微镜、检查和测量系统的理想选择 - 精确的重复性可达 1.1 µm - 可选择直流电机或步进电机版本 应用的领域 应用于显微镜、计量学、光学、三维成像、自动对焦系统、电子装配、光学定位、样品定位、半导体检测、测量系统、测量设备 ...

运行行程: 50 mm
速度: 30 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 2.5 µm

... 具有大孔径的扫描平台 节省空间的设计和大孔径是这些坚固的XY平台的特点。高精度的滚珠丝杠和可调节的正交性确保了高度精确的定位和运行精度。同时，它给人的印象是物美价廉，使用寿命长。 专为显微镜任务设计 - 是显微镜、光学检测系统和激光加工的理想选择 - 高精度的重复性可达 0.5 µm - 良好的性价比和非常长的生命周期 - 可选择带100毫米行程（KDT310）。 应用范围 高分辨率应用于显微镜、光学检测系统、3-D成像、筛选、干涉测量、计量、自动对焦系统、生物技术、半导体测试。 ...