- 移动范围 100 微米、400 微米或 800 微米
- 与电动驱动器相比,响应速度更快,使用寿命更长
- 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位
- 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度
- 与 Metamorph® 成像软件兼容
- 直径 29 毫米的大光圈
- 三维成像
- 筛选
- 干涉测量
- 测量技术
- 自动对焦系统
- 生物技术
- 半导体检测
PICMA® 压电致动器的超长使用寿命
PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实,1,000 亿次循环无一故障。
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨无需维护、摩擦和磨损,也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力,对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。
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