Z轴位移台 P-725 series
压电长冲程自动聚焦

Z轴位移台
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产品规格型号

方向定位
Z轴
类型
压电
其他特性
高精度, 显微镜物镜, 高速, 长冲程, 无摩擦导向, 自动聚焦, 开环
运行行程

100 µm, 400 µm, 800 µm

重复精度

10 nm, 50 nm

产品介绍

- 移动范围 100 微米、400 微米或 800 微米 - 与电动驱动器相比,响应速度更快,使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 与 Metamorph® 成像软件兼容 - 直径 29 毫米的大光圈 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实,1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损,也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力,对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。

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