线性纳米定位平台 P-753 LISA series

压电用于显微镜可测微

导轨台和执行器同时工作 分辨率 0.1 nm 直接驱动，响应特别快 电容式传感器带来最高线性度 应用领域 扫描显微镜 测量技术 测试程序和质量保证 光子学 光纤定位 PICMA® 压电执行器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 通过直接位置测量实现最高精度 运动直接在运动平台上测量，不受驱动或导向元件的影响。这就实现了最佳的重复性、出色的稳定性以及刚性和快速响应的控制。 PICMA® 直接驱动带来更高的刚度和动态性能 采用 PICMA® 直接驱动的压电纳米定位器没有机械平移。因此响应速度快，在压电驱动范围内具有最高的刚度和动态性能。