并联机构纳米定位平台 P-616 NanoCube®

XYZ轴压电3轴

平行运动设计可在所有空间方向上实现最高刚度 高共振频率带来高动态运动，即使负载高达 100 g 也不例外 创新的产品设计，采用单一安装平台，使用灵活。 市场上唯一具有 ID 芯片功能的纳米定位器 市场上体积最小、重量最轻的 NanoCube®，行程范围为 100 µm 应用领域 光纤定位和对准 扫描显微镜 双光子聚合 纳米技术和纳米制造 光子学/集成光学 微操作 样品定位 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 自动配置和快速部件更换 机械装置和控制器可根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 接口的 ID 芯片中。