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运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm
... - 与电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...
运行行程: 26 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1740 的尺寸为 40 x 17 x 8.5 mm，行程范围为 26 mm，法向力为 30 N。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是配备 S 位置传感器的 SLC-1740 用于大气或高压环境的尺寸和规格。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、阻尼力更大的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械性能 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大阻尼力 [N] - ≥ 3.5法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] - > 1.5提升力 [N] - > ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1750 的行程范围为 31 毫米，法向力为 30 牛，尺寸为 50 x 17 x 8.5 毫米。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是 SLC-1750 的尺寸和规格，适用于大气或高压环境，配备 S 位置传感器。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、具有更高阻挡力的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械结构 扫描范围 [µm] - > 1.3 阻挡力 [N] - ≥ 3.5 最大法向力 [N] - 30 最大提升力 [N] - > 1.5提升力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 46 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... SLC-1770 是 SLC-17 系列中第二大定位平台。它的行程范围为 46 毫米，尺寸依然紧凑，为 70 x 17 x 8.5 毫米。 请注意，该线性压电平台的可下载文件显示的是 SLC-1770 的尺寸和规格，适用于大气或高压环境，配备 S 位置传感器。如需了解其他变体的技术图纸和详细规格，如 UHV 兼容平台、具有更高阻挡力的平台或其他传感器选件，请随时与我们联系。 机械性能 阻挡力 [N]≥ 3.5 最大阻挡力法向力 [N]30 最大提升力提升力 [N]> 1.5 尺寸 [mm]70 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm
... CLS-32 系列中型平台的行程范围为 31 毫米，而占地面积仅为 32 x 52 毫米。它能够处理高达 30 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，可确保轻松接触平台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 [N法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... CLS-32 系列最长平台的行程范围为 51 毫米，而占地面积仅为 32 x 82 毫米。它能够处理高达 30 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，可确保轻松接触平台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 [N法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm
... CLS-52 线性平台中最小的一款占地面积为 52 x 52 毫米，行程范围为 31 毫米，孔径为 9 毫米。此外，它还能处理最大 20 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台是专为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，可确保轻松接近平台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 51 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm
... 较大的 CLS-52 线性平台占地面积为 52 x 82 毫米，行程范围为 51 毫米，孔径为 9 毫米。此外，它还能处理高达 20 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，可确保轻松接触平台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 103 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm
... 较大的 CLS-92 线性平台占地面积为 152 x 92 毫米，行程范围为 103 毫米。此外，它还能处理高达 20 N 的有效载荷。 CLS 系列直线运动平台专为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了 SmarActs 可更换驱动单元，确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置，从而使维修工作变得简单易行。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。当模块化和易于配置是最高要求时，它们就是完美的选择。 机械性能 阻挡力 [N] ≥ 3.5 最大法向力 [N] 20法向力 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 4.5 mm
速度: 10 mm/s
... 这款超小型定位器的行程范围为 4.5 毫米，长度为 11 毫米。 机械性能 阻挡力 [N]≥ 1.6 最大法向力 [N]1 最大提升力提升力 [N]0.35 尺寸 [mm]11 x 11 x 5.2 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - < 1 开环分辨率 (H)CU [nm] - < 50 材料选项 材料选项 - 标准钢基 (-ST) 真空选项 - HV (1E-6 mbar)；UHV (1E-11 mbar) ...
SmarAct GmbH
运行行程: 11 mm
速度: 10 mm/s
... SL 系列直线运动平台超紧凑，专为空间有限或要求极度微型化的设置而设计。在保持微型尺寸的同时，这些平台的行程范围相对较长，可以组合成复杂的多轴系统。SL 系列平台宽 11 毫米，高 5.2 毫米。 机械结构 阻挡力 [N]≥ 1.6 最大法向力法向力 [N]1 最大提升力提升力 [N]0.35 尺寸 [mm]21 x 11 x 5.2 开环 开环分辨率 MCS2 [nm] - < 1 开环分辨率 (H)CU [nm] - < 50 材料选项 材料选项 - 标准钢基 (-ST) 真空选项 ...
SmarAct GmbH
运行行程: 12.5 mm
载荷: 150, 20 lb
... HL.500-XY系列平台是一种精密XY平台，配备交叉滚子轴承，设计用于在重载下实现卓越的稳定性、线性和最小的粘滞性。该平台比标准平台多20%的轴承，从而在整个行程范围内实现了更好的双向线性，在行程极限处表现尤为显著。它支持多种手动和电动执行器，包括手动执行器、差动测微计以及开环和闭环驱动。每个轴都具有单独的非影响锁，即使在3g冲击下也能固定平台位置。HL.500-XY与MX-AB和MX-AB2垂直安装块兼容，并可与100cr或200cr平台组合，创建高负载XYZ平台系统。
产品特点
- 低调设计
- 集成XY轴
- 非影响锁
- 高负载交叉滚子轴承
- 提供真空兼容版本
性能规格
- 行程范围：0.5英寸（12.5mm）
- 最大水平轴负载：150磅，居中
- 最大垂直轴负载：20磅，居中
- 最小可控运动（调节螺钉单独出售）：
- 40TPI：10
运行行程: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... LA95 - 应用：传送阶段、扫描阶段 - 优点：干式润滑，使用寿命长 - 特点： 使用干润滑油的导螺杆或 带液体润滑油的滚珠丝杠 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-9 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑/低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 技术数据 - 行程：40 毫米、80 毫米、185 毫米 - 重复精度 ± 1.9 微米，± 0.4 微米（单向） ± 2.9 ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm
... KDT300 稳定的高负载 xy 平台 应用：传送平台，高负载扫描平台 优点：- 尽管使用干润滑油，但使用寿命长 特点：尽管使用干润滑油，但使用寿命长 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 - 润滑液：最高 10E-11 - 孔径：80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度：120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
重复精度: 1 µm - 5 µm
... HT160 精密高负载垂直升降台 应用：真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 mbar - 液体润滑高达 10E-8 / 干式润滑高达 10E-11 mbar - 可提供磁性型号 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达到 1 级） - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据： - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm
... HDT255 高负载孔径升降台 应用：真空升降台 优点：- 高刚度、高负载、开孔 特点：带孔的楔形平台 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 毫巴 - 液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 带孔径或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达 1 级） - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm
... HT240 精密高负载垂直升降平台 应用：真空升降台真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10-11 毫巴 - 液体润滑高达 10-8 / 干式润滑高达 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据炉室内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - 行程： - 25 毫米 - 重复性 ± 1.7 µm，± ...
Steinmeyer Holding GmbH
载荷: 1 kg - 12 kg
... DT310 带大孔径的平面旋转平台 高精度旋转平台采用平面设计，加工精度极高，应用范围广泛。由于具有大孔径，它特别适用于检测和医疗行业的任务。 - 普遍适用于大孔径应用领域 - 行程范围不受限制 - 负载能力高达 120 N - 重复精度高达 0.004 µrad - 可选配步进电机或带电机编码器和各种测量系统分辨率的交流伺服电机 测量系统分辨率 应用领域 普遍应用，如微型计量、医疗行业、样品检测、精密微型装配、光子学和光学、研发、实验物理 技术数据 - 行程：n ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 8.3 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 5 µm
... HT240 高负载的理想选择 对于垂直方向的运动，Steinmeyer Mechatronik HT240 是专为高负载而设计的产品，具有出色的分辨率。由于其坚固耐用、经过生产验证的设计，可防止颗粒和灰尘进入，特别适用于工业环境中的重载应用。 易于组合 HT240 配备步进电机或交流电机，提升高度可达 25 mm。 得益于我们的模块化轴系统，它可以毫不费力地与配套的 DT 系列旋转平台或 PLT 系列线性平台组合，形成复杂的多轴系统。 适用于工业应用 HT240 主要用于需要精确定位高负载的场合 ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 5 µm
... HT160 高精度升降平台 升降台 HT160 适用于高精度垂直运动。齿轮电机和精密滚珠丝杠的组合可在高负载情况下实现非常小的调整增量。 可与 PMT 和 PLT 系列组合使用 HT160 配备步进电机或直流电机和交叉滚子轴承，可与 PMT160 和 PLT 系列配合使用，确保为具有挑战性的多轴系统提供多种组合可能性。 用途广泛 该升降台主要用于测量工程、传感器定位、光学领域或微加工。它也有真空版本，可用于研发领域。 技术数据： - 行程：16 毫米 - 单向重复性：± 1.6 微米，± ...
Steinmeyer Holding GmbH
运行行程: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm
... MT130 带内置电机的紧凑型线性平台 微型直线运动平台采用滚柱轴承，具有极佳的直线度和平面度。驱动装置完全安装在高度紧凑的定位系统中。 - 在较小的安装空间（130 x 130 x 43 mm）内，行程可达 80 mm - 重复精度高达 2.3 µm - 可轻松叠加到紧凑型多轴系统中 选项 - 可配备直流电机或步进电机 - 三轴紧凑型装置：MP130-3 - 可与 DT130 旋转平台组合使用 - 不锈钢选件，可提高刚性 - 适用于无尘室、真空和 EUV 的型号 应用领域 在狭小空间内定位，如相机、显微镜（AFM、WLI）、最小空间 ...
Steinmeyer Holding GmbH