开环位移台

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线性位移台
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LA95

运行行程: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... LA95 - 应用:传送阶段、扫描阶段 - 优点:干式润滑,使用寿命长 - 特点: 使用干润滑油的导螺杆或 带液体润滑油的滚珠丝杠 - 真空:所有压力范围 HV / UHV,低至 10E-9 mbar - 磁性:磁性 - 润滑:低至 10E-8 的液体润滑/低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 技术数据 - 行程:40 毫米、80 毫米、185 毫米 - 重复精度 ± 1.9 微米,± 0.4 ...

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Steinmeyer Holding GmbH
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KDT300

运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 稳定的高负载 xy 平台 应用:传送平台,高负载扫描平台 优点:- 尽管使用干润滑油,但使用寿命长 特点:尽管使用干润滑油,但使用寿命长 - 真空:所有 HV / UHV / EUV 范围,最高 10E-11 - 润滑液:最高 10E-11 - 孔径:80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度:120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米,载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置,以获得更高的速度 - ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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HT160

运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
重复精度: 1 µm - 5 µm

... HT160 精密高负载垂直升降台 应用:真空升降台 优点:高刚性、高负载 特点:带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空:所有范围 HV / UHV / EUV,最高 10E-11 mbar - 液体润滑高达 10E-8 / 干式润滑高达 10E-11 mbar - 可提供磁性型号 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号(根据要求可达到 1 级) - 可选配控制器 ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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HDT255

运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm

... HDT255 高负载孔径升降台 应用:真空升降台 优点:- 高刚度、高负载、开孔 特点:带孔的楔形平台 - 真空:所有范围 HV / UHV / EUV,最高 10E-11 毫巴 - 液体润滑,最高 10E-8 / 干式润滑,最高 10E-11 mbar - 磁性:磁性 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 带孔径或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号(根据要求可达 1 级) - 根据应用选择材料和真空润滑 - ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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HT240

运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... HT240 精密高负载垂直升降平台 应用:真空升降台真空升降台 优点:高刚性、高负载 特点:带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空:所有范围 HV / UHV / EUV,最高 10-11 毫巴 - 液体润滑高达 10-8 / 干式润滑高达 10-11 毫巴 - 磁性:磁性 - 最大烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据炉室内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - 行程: - 25 毫米 - ...

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旋转位移台
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DT310

载荷: 1 kg - 12 kg

... DT310 带大孔径的平面旋转平台 高精度旋转平台采用平面设计,加工精度极高,应用范围广泛。由于具有大孔径,它特别适用于检测和医疗行业的任务。 - 普遍适用于大孔径应用领域 - 行程范围不受限制 - 负载能力高达 120 N - 重复精度高达 0.004 µrad - 可选配步进电机或带电机编码器和各种测量系统分辨率的交流伺服电机 测量系统分辨率 应用领域 普遍应用,如微型计量、医疗行业、样品检测、精密微型装配、光子学和光学、研发、实验物理 技术数据 - ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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HT240

运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 8.3 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 5 µm

... HT240 高负载的理想选择 对于垂直方向的运动,Steinmeyer Mechatronik HT240 是专为高负载而设计的产品,具有出色的分辨率。由于其坚固耐用、经过生产验证的设计,可防止颗粒和灰尘进入,特别适用于工业环境中的重载应用。 易于组合 HT240 配备步进电机或交流电机,提升高度可达 25 mm。 得益于我们的模块化轴系统,它可以毫不费力地与配套的 DT 系列旋转平台或 PLT 系列线性平台组合,形成复杂的多轴系统。 适用于工业应用 HT240 ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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HT160

运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.5 µm - 5 µm

... HT160 高精度升降平台 升降台 HT160 适用于高精度垂直运动。齿轮电机和精密滚珠丝杠的组合可在高负载情况下实现非常小的调整增量。 可与 PMT 和 PLT 系列组合使用 HT160 配备步进电机或直流电机和交叉滚子轴承,可与 PMT160 和 PLT 系列配合使用,确保为具有挑战性的多轴系统提供多种组合可能性。 用途广泛 该升降台主要用于测量工程、传感器定位、光学领域或微加工。它也有真空版本,可用于研发领域。 技术数据: - 行程:16 毫米 - ...

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线性位移台
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MT130

运行行程: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm

... MT130 带内置电机的紧凑型线性平台 微型直线运动平台采用滚柱轴承,具有极佳的直线度和平面度。驱动装置完全安装在高度紧凑的定位系统中。 - 在较小的安装空间(130 x 130 x 43 mm)内,行程可达 80 mm - 重复精度高达 2.3 µm - 可轻松叠加到紧凑型多轴系统中 选项 - 可配备直流电机或步进电机 - 三轴紧凑型装置:MP130-3 - 可与 DT130 旋转平台组合使用 - 不锈钢选件,可提高刚性 - 适用于无尘室、真空和 EUV ...

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Steinmeyer Holding GmbH
线性位移台
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SLC-1750

运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... SLC-1750的行程范围为31毫米,法向力为30牛,尺寸为50 x 17 x 8.5毫米。 请注意,该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1750在大气或高压环境下的尺寸和规格,配备了S-位置传感器。有关其他变体的技术图纸和详细规格,如兼容UHV的平台,具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项,请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N] - ≥ 3.5 最大。法向力 [N] - 30 最大。提升力[N] -> 1.5 尺寸[mm] - 50 x 17 x 8.5 重量[g] ...

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SmarAct GmbH
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SLC-1770

运行行程: 46 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... SLC-1770是SLC-17系列的第二大定位平台。它的行程范围为46毫米,尺寸仍然紧凑,为70 x 17 x 8.5毫米。 请注意,该线性压电平台的可下载文件显示了SLC-1770在大气或高压环境下的尺寸和规格,配备了一个S-位置传感器。有关其他变体的技术图纸和详细规格,如兼容UHV的平台,具有更高阻挡力的平台或其他传感器选项,请联系我们的销售团队。 机械 阻挡力[N]≥ 3.5 最大。法向力[N]30 最大。提升力[N]>1.5 尺寸[mm]70 x 17 ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
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CLS-3252

运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... CLS-32系列的中等尺寸级提供31毫米的行程范围,同时保持32 x 52毫米的尺寸。它能够处理高达30N的有效载荷。 CLS系列的线性平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外,他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 [N] ≥ 3.5 最大。法向力 ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
线性位移台
CLS-3282

运行行程: 51 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... CLS-32系列中最长的一级提供了51毫米的行程范围,同时保持了仅32 x 82毫米的占地面积。它能够处理高达30N的有效载荷。 CLS系列的线性平台一直是为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外,他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 [N] ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
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CLS-5252

运行行程: 31 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm

... CLS-52线性平台中最小的一个,其占地面积为52 x 52毫米,移动范围为31毫米,孔径为9毫米。此外,它能够处理高达20N的有效载荷。 CLS系列直线运动台始终为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外,它们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 ...

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SmarAct GmbH
线性位移台
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CLS-5282

运行行程: 51 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 40, 200 nm

... 较大的CLS-52线性平台的占地面积为52 x 82 mm,移动范围为51 mm,孔径为9 mm。此外,它能够处理高达20N的有效载荷。 CLS系列直线运动台始终为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,压电驱动。这使得维修成为一项非常简单的任务。驱动单元可以在不从周围的定位装置上拆下整个设备的情况下进行更换。此外,他们的安装孔型与安装我们的旋转平台和测角器完美匹配。 机械 阻塞力 [N] ...

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线性位移台
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CLS-92152

运行行程: 103 mm
速度: 20 mm/s
重复精度: 200, 40 nm

... 较大的CLS-92线性平台的占地面积为92 x 152 mm,移动范围为103 mm。此外,它能够处理高达20N的有效载荷。 CLS系列的线性平台是专门为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了SmarActs可更换的驱动单元,这保证了容易接触到平台的核心部件,即压电驱动,使维修成为一项简单的任务。驱动单元可以被替换,而不需要将整个设备从周围的定位装置上拆下来。当模块化和易于配置是最高要求时,它们是完美的选择。 机械 阻塞力 [N] ≥ 3.5 最大。正常力 ...

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SmarAct GmbH
紧凑型位移台
紧凑型位移台
SL-0610

运行行程: 4.5 mm
速度: 10 mm/s

... SL系列直线运动平台是超紧凑的,专门为空间有限或要求极端微型化的设置而设计。在保持其微型尺寸的同时,这些平台提供了相对较长的移动范围,并可组合成复杂的多轴系统。SL系列的平台宽度为11毫米,高度为5.2毫米。 机械性能 阻挡力[N]≥ 1.6 最大。法向力[N]1 最大。提升力[N]0.35 尺寸[mm]11 x 11 x 5.2 开环 分辨率[nm]< 1 ...

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SmarAct GmbH
电磁传动位移台
电磁传动位移台
MR-9222

... 电磁旋转级,可24/7运行。 MR-92系列的SMARSHIFT旋转平台的设计与线性SMARSHIFT平台MLS-92122以及MLL-82系列的线性平台兼容,可以直接安装在它们上面。MR-92旋转平台允许的负载高达50N,适用于需要高动态性能的应用,如快速扫描运动。 ...

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旋转位移台
旋转位移台
SR-1908

... SR-1908是我们最小的标准旋转平台。非常坚固的不锈钢轴承和7毫米的孔径使其具有广泛的应用可能性。 SR-1908是我们最紧凑和最经济的旋转平台。它的外部尺寸很小,是空间有限的设置的一个完美解决方案。 机械性能 行程 [- ∞ 阻断力矩[Ncm] - ≥ 0.5 最大。正常力 [N] - 5 尺寸[mm] - 25 x 20 x 8.5 重量[g] - 13 孔径 [mm] - 8 开环 角速度 [°/s] - ~ 45 开环分辨率 [µ - < 3 ...

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SmarAct GmbH
Z轴位移台
Z轴位移台
P-725 series

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 10, 50 nm

... - 移动范围 100 微米、400 微米或 800 微米 - 与电动驱动器相比,响应速度更快,使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 与 Metamorph® 成像软件兼容 - 直径 29 毫米的大光圈 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® ...

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