倾斜式位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有的伺服和线性化参数都存储在机械装置的D-sub连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 ...

运行行程: 76, 44.5 mm

... 我们的高负荷实验室升降台采用创新型设计，应用了三个正交铰链，在拉直后形成一个方框，使升降台随着高度的增加变得更加稳定。 •无蠕变的高载重能力 •独有的正交铰链，可最大限度降低摆动、倾斜和扭曲 •3-mrad 平行度 •调整极其平稳 •同一零件上同时具有英制和公制螺纹孔 传统的剪刀式和双弓升降台通过减小交叉构件之间的距离进行举升，并且在较高高度处的内在稳定性较差。相比之下，Newport 的创新设计采用了三个正交的铰链，经拉直后可形成一个盒子，而且会随高度的增加变得更加稳定。侧面安装的高度调节控制坚固传动螺杆连接宽侧铰链的枢轴销。端部铰链防止倾斜或摇摆并且确保仅进行垂直运动。 281 ...

... -带夹紧装置的细螺纹主轴 -安装在测量平台、平移平台或光学工作台上 特点 -设计紧凑 -3D调节：2个倾斜轴和1个旋转轴 -光轴下方有调节螺钉 -细螺纹主轴 -带夹紧装置 -抗变形铝 -黑色阳极氧化处理，反光性差 安装方式 -安装在带底板的测量平台和平移平台上 -安装在带安装板 MP 120M 的光学工作台上 棱镜平台 PR 60 的工作台高度很低。其方形底板可以安装在测量平台和平移平台上。 在光学平台上安装时，取下底板，用 M4 螺栓通过 34 x 34 mm 的网格将棱镜平台固定在安装板 ...

速度: 200 mm/s

... A-523是一个直接驱动的空气轴承Z形尖端/倾斜平台。设计为平行机械式多轴系统，该平台可用于Z和尖端/倾斜运动。该平台以微型形式提供超精密度。非接触部件的组合产生了一个无摩擦的运动平台，具有顶级的性能、质量和使用寿命。 当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起订购时，PI对Z型平台进行配置和布线，并在应用伺服调谐优化和应用负载下进行。您将收到一个完整的、可随时使用的定位系统。 附件和选项 空气过滤器组 内置真空夹持机构 应用范围 Z型尖端/倾斜平台非常适合于高精度的应用，如晶圆检测、光纤定位、光学器件定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触设计是洁净室应用的理想选择。 ...

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.15, 0.1 µm
载荷: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高。 过滤器和空气准备套件 附加轴 机床底座 花岗岩底板和减震系统 适用于附加定位器的支架，如尖端/倾斜平台或带压电驱动的 ...

... 详细信息： 超高性能和重型旋转和测角仪系统 1。 主要特点 -两轴 ± 5° 调节范围 -不锈钢结构，用于高负荷容量， 高达 200 kg-两轴的编码器确保 9 弧秒（9”）的高分辨率-XY 舞台 根据需要轻松设置重型和超性能旋转， 测角仪系统是两个工作轴的高精度运动的理念，即倾斜（测角仪）阶段和旋转阶段。 广泛应用于金刚石多微线锯 (DMWS) 和金刚石切割机。 现在，我们改进了原来的设计，新的设计将在每个阶段都包含一个编码器。 因此，最小读数（分辨率）将高达 9 弧秒（9”）。 ...

运行行程: 850, 500 mm
速度: 1,500, 500 mm/s
重复精度: 40, 20 nm

... 智能设计使 EZ-0730 平台具有最大的刚性和出色的可重复性，最大限度地减少了轴串扰。 内置功能 脉冲去耦，即使在高加速度下也能最大限度地减少串扰。 下滑板采用碳材料，重量得到优化。 使用热膨胀接近 0 的碳结构，将有害的温度影响降至最低。 集成的 11 区平面真空夹紧装置具有极高的卡盘刚性，并采用精密的压力膜技术进行高精度尖端/倾斜调整。 采用新颖的拖链概念，将来自能量链的干扰力降至最低。 无铁驱动和高精度光栅尺（海德汉 LIP6 G0）。 机床床身由花岗岩制成。轴可根据客户要求定制 ...

... 第三代座椅高度调节器 第三代座椅高度调节器 泵调节 最小静态保持力矩 > 250 牛米 误操作扭矩 > 95 牛米 静音调节 重量 330 克 360° 行程数：17（带或不带负载） 无负载调整扭矩 < 5 牛米 温度范围 -30 至 +85 摄氏度 通过外壳螺栓固定手柄 客户定制的可调小齿轮和安装板 ...

运行行程: 0 mm - 0 mm

... - 单轴 - 镜像定位系统 - 不需要分离的电子设备 -微型压电智能平台，内置 控制器，用于简单、精确的点对点定位。 该系统直径只有12毫米，是在有限空间内进行精确的点对点光束转向的理想选择。 ...