{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
... 运动平台直径 低轮廓 偏心率和平面度 < 100 nm 可通过磁性预紧力在静止时自锁 产品概览 PIglide RL 系列的直接驱动低剖面旋转平台采用低剖面设计，具有最高精度。各种选件可组合成点对点分度或匀速扫描的理想解决方案。RL 平台具有卓越的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 无槽 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在启动过程中无需参考，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 真空馈入件 静止时通过磁性预紧力自锁 根据要求提供透明孔 PIglide ...
Physik Instrumente/德国PI
速度: 100 mm/s
... RotoLinear Z(升降机)-θ(Theta)定位模块是一种高性能的双轴空气轴承系统，在取放应用中取代了体积较大的传统电动机械执行器。它结合了最新的无刷伺服电机、编码器和空气轴承技术，在极其紧凑的封装中提供精确、可编程的位置和速度控制。该Z-θ级采用了2轴平面和空气轴承技术。驱动、轴承和反馈完全非接触式。RotoLinear平台有一个通孔，可将辅助真空线和电气线输送到平台的上表面。可安装在平面XY锻机上，作为机器人X-Y-Z-THETA单元运行。 ...
... 平面XY工作台是由被称为forcer的移动元件组成，它在无摩擦空气轴承上滑动的特殊的 "华夫板状 "表面上滑行。 平面锻造器包含两个或四个相互成90度的直线运动模块。 当电机模块响应不同的电流时，激振器会在压板上移动以产生连续的线性运动。也可以在平移和旋转模式下控制换向器，以执行XY和θ(耦合度)运动。 对于大的旋转能力，可与RTH转台和Z型升降电机集成在一起。 平面锻造器与标准的微步进驱动器和分度器兼容。它们还可以配备IntelLiCoder反馈和闭环驱动。 平面XY工作台可以在任何方向（侧壁、倒立）操作。 ...
运行行程: 12 mm - 321 mm
速度: 1.2, 0.02, 0.1 m/s
重复精度: 0.25, 0.4, 0.3 µm
... METIS 是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专为步进和扫描应用而设计，可确保无与伦比的精度、移动和稳定时间以及 4 自由度的速度稳定性。 METIS 平台是最先进的混合平面机械/空气轴承平台，专用于 X、Y、Z 和 Theta 方向四轴移动的步进和扫描应用。全行程范围内的动态平面度和双向重复性使其成为高精度任务的理想选择。METIS 广泛应用于晶圆过程控制，如关键尺寸和薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光热退火。它还适用于后端光刻机（光罩校准器）和某些晶片切割应用。 METIS 性能可靠，是先进半导体和光电子应用的必备工具。 特点 METIS ...
速度: 200 mm/s
... A-523是一个直接驱动的空气轴承Z形尖端/倾斜平台。设计为平行机械式多轴系统，该平台可用于Z和尖端/倾斜运动。该平台以微型形式提供超精密度。非接触部件的组合产生了一个无摩擦的运动平台，具有顶级的性能、质量和使用寿命。 当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起订购时，PI对Z型平台进行配置和布线，并在应用伺服调谐优化和应用负载下进行。您将收到一个完整的、可随时使用的定位系统。 附件和选项 空气过滤器组 内置真空夹持机构 应用范围 Z型尖端/倾斜平台非常适合于高精度的应用，如晶圆检测、光纤定位、光学器件定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触设计是洁净室应用的理想选择。 ...
运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm
... E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台 简要说明 移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm 单向重复精度达 0.3 µm 无铁三相直线电机 速度增量至 500 mm/s 分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺 交叉滚柱导轨 直线电机 直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件，直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...
NATSU PRECISION TRADE LIMITED
运行行程: 450, 800, 250 mm
速度: 1 m/s
重复精度: 75 nm
... 在设计 XY 平台 EZ-0117 时，特别强调了在满足高精度要求的同时还要考虑成本因素。空气轴承的踏板上覆盖有波纹管，以防止颗粒进入，这使得 EZ-0117 特别适合颗粒负载应用。尽管配备了波纹管，但定位精度仍然很高。铁芯同步电机的加速度可达 10 m/s2，移动速度可达 1 m/s。机床床身由花岗岩制成。十字工作台一侧设有接口板，用于传输能量、信号和介质。两个轴可分别提供电能和气能。末端位置由感应传感器检测。XY 平台有两种尺寸，行程范围分别为 250 x 450 毫米或 250 x 800 ...
Eitzenberger GmbH
速度: 9 m/s
重复精度: 5 µm
... 带空气轴承的 MPL 线性电机平台 带空气轴承的直线电机平台的信息 该线性轴的能力： 测量系统重复精度： ± 1 μm 最大加速度： 80 m/s2 ...
运行行程: 500, 1,000, 1,500, 2,000 mm
速度: 1,210, 790, 2,060, 1,630 mm/s
... LA340线性平台的宽度为340毫米，以花岗岩板为基础，采用空气轴承构造。这使得它可以用于所有需要完美的平面度、最小的俯仰和偏航公差以及平稳运行特性的应用。 - 是扫描应用或高精度定位的理想选择 - 非常高的重复性，可达±0.3 µm - 速度高达2060毫米/秒的高动态性能 - 负载能力高达 500 N - 完美的平面度，高达± 0.8 µm - 超长的使用寿命 - 可提供无尘室型号 高动态性和完美的平面度 该直线轴的驱动概念是基于一个动态的线性马达和一个线性测量系统，从而实现了高速度和高加速度的高精度和出色的可重复性。 应用的领域 计量、检测、激光加工、光子学、精密扫描、半导体或平板显示器制造中的精密定位 ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... 设计用于完成高精确的测量任务。旋转单元采用抗摩擦轴承，无间隙。突出的刚度。高分辨率的编码器，可实现高定位精度。 RT-350 带压电驱动。最适合作为CT测量系统的旋转轴，因为所用材料的磁场强度低。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 RT-500 带扭矩驱动。RT-500的优势结构使得它可以作为多轴系统中的旋转轴应用。 选项。 >气动夹持旋转 >防溅罩 >带伺服驱动的蜗轮蜗杆传动 RT-1500 带伺服驱动。轴向有空气轴承。底板和旋转台是天然硬石，花岗岩。由于自动调节，在不同的重量负荷下，空气间隙将保持不变。 选项。 >旋转的气动夹紧 >防溅板 >角度编码器 >手动调整 ...
Johann Fischer Aschaffenburg