Physik Instrumente气浮位移台

... 运动平台直径 低轮廓 偏心率和平面度 < 100 nm 可通过磁性预紧力在静止时自锁 产品概览 PIglide RL 系列的直接驱动低剖面旋转平台采用低剖面设计，具有最高精度。各种选件可组合成点对点分度或匀速扫描的理想解决方案。RL 平台具有卓越的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 无槽 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。这意味着在启动过程中无需参考，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 真空馈入件 静止时通过磁性预紧力自锁 根据要求提供透明孔 PIglide ...

... - 运动平台直径 365 毫米，光圈直径 260 毫米 - 偏心率和平面度 < 300 nm 产品概览 PIglide RLA 系列直接驱动旋转平台专为超高精度而设计。它们外形小巧，具有较大的通孔。RLA 平台具有出色的行程精度、平面度和摆动性能。 三相扭矩电机 无刷 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对式编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。因此，开启时无需参照，从而提高了运行效率和安全性。 附件和选件 增量式或绝对式编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器 多轴/定制设置 花岗岩底板和减震系统 ...

重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg

... 运动平台尺寸 85 毫米 × 75 毫米 低轮廓 40 毫米 移动范围 25 毫米 速度达 390 毫米/秒 加速度至 10 m/s2 产品概览 带空气轴承的 PIglide 微型线性平台具有线性电机驱动、预载空气轴承和集成式直线光栅。该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。线性平台采用非接触式设计，无需润滑，电缆连接牢固，是洁净室和医疗技术应用的理想之选。 ...

运行行程: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
重复精度: 0.1 µm

... - 扫描应用或高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 160 mm × 200 mm - 负载能力达 100 N PIglide 定位系统配有磁性直线电机、磁性预载空气轴承和光学直线光栅：无接触、无摩擦运动，实现最高精度和可靠性 附件和选件 - 编码器 - PIglide 过滤器和空气准备套件 - 单轴和多轴运动控制器 - XY 设置和单独配置 - 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此 ...

运行行程: 50 mm - 350 mm
速度: 1 m/s
重复精度: 0.25 µm

... - 扫描应用或高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 115 毫米 × 115 毫米 - 外形小巧，60 毫米起 - 分辨率达 1 纳米 产品概览 PIglide 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度。预载空气轴承结构支持任何方向的安装。 附件和选件 编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 多轴运动控制器和直接驱动装置 XY ...

运行行程: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 0.25 mm

... θX、θY 旋转范围为 ±1° 平台直径 250 毫米 总高度 60 毫米 产品概览 A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜平台。该平台设计为平行运动多轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统。 附件和选件 空气过滤器套件 应用领域 Z ...