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运行行程: 400, 50, 200, 300, 100 mm
速度: 1, 0.5 m/s
重复精度: 0.1 µm
... - 扫描应用或高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 160 mm × 200 mm - 负载能力达 100 N PIglide 定位系统配有磁性直线电机、磁性预载空气轴承和光学直线光栅：无接触、无摩擦运动，实现最高精度和可靠性 附件和选件 - 编码器 - PIglide 过滤器和空气准备套件 - 单轴和多轴运动控制器 - XY 设置和单独配置 - 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此 ...
运行行程: 50 mm - 1,250 mm
速度: 0 m/s - 0.4 m/s
载荷: 50,000 g - 80,000 g
... 概述
Fuyu Technology Co., Ltd. 的 FTH14XYZ-T T型三轴运动平台是一款用于检查与成像应用的电动滚珠丝杠线性执行器台座。该产品将电动滚珠丝杠驱动与防尘/半封闭线性导轨相结合，行程可配置，便于集成到测试与自动化系统中。
应用
- 配备工业相机的电子产品检测
- 实验性雷达成像与天线测试
- 精密拾取放置、计量与光学检测
主要特性
- 系列：FTH14XYZ-T
- 行程范围：50
运行行程: 85 mm - 130 mm
... 产品
- SCANplus 130 x 85
零件编号
- 48-24-651-0000
主要特性
- 用于正置显微镜的扫描台
- 行程范围：130 x 85 mm
- 驱动：滚珠丝杠，螺距4 mm
- 集成MR测量系统
- 薄型设计，低安装高度
- 含1个载片用台座插入件（订购号：48-24-520-2000）
- 适配
运行行程: 80 mm - 120 mm
... 产品名称
SCANplus IM 120 x 80
零件编号
48-4524-0502-0000
附加信息
- 集成线性测量系统，提供最高精度
- 平坦的人体工程学设计，带圆角
- 平整表面，便于清洁
- 在扫描台与控制器之间集成固定连接电缆
- 集成电子平台识别装置 ETS，用于扫描台的自动识别和控制器的参数化
- 在与 Märzhäuser
运行行程: 300 mm
速度: 0 m/s - 80 m/s
重复精度: 1 µm - 5 µm
... 描述
开架式低外形XY旋转台，适用于晶圆搬运及半导体制造中的高精度自动定位。XY驱动机构侧置，旋转台中心大贯通孔可从两侧无阻碍接近晶圆。系统可根据需求配置不同开口和行程。
主要规格
- XY平台型号：XY-OF-300x300J
- 旋转平台型号：ACR-335UT
- 开口：335 mm
- 行程 (X × Y)：300 × 300 mm
- 旋转：无限制
- 线性分辨率：标准
运行行程: 15 mm - 25 mm
... 高速、精准的XY平台，它可以直接驱动没有背隙，因此，精准度以及重复控制都很好。此系列的标准是5微米的分辨率，还有50奈米的分辨率可用于超级精准定位以及扫描相关产业例如： 生物科学、医疗以及光电子产业等。 它也可以使用于汽车产业的质量量测或其他自动化产业的各类运用。因为每一轴都可独立控制速度、加速度、定位以及力量，让您可以更精确且灵活的运用。 ...