XY轴位移台 XY-OF-300x300J

旋转机动电动

描述
开架式低外形XY旋转台，适用于晶圆搬运及半导体制造中的高精度自动定位。XY驱动机构侧置，旋转台中心大贯通孔可从两侧无阻碍接近晶圆。系统可根据需求配置不同开口和行程。

主要规格

• XY平台型号：XY-OF-300x300J
• 旋转平台型号：ACR-335UT
• 开口：335 mm
• 行程 (X × Y)：300 × 300 mm
• 旋转：无限制
• 线性分辨率：标准 5 µm；可选 1 µm（配线性编码器）
• 旋转分辨率：1 arc-sec
• 承载能力：20 kg
• 贯通孔（开中心）：20 mm
• 速度：步进电机最高 40 m/s；伺服电机最高 80 m/s
• 角速度：100 rpm
• 驱动（XY）：滚珠丝杠
• 驱动（旋转）：直驱
• 电机选项：步进、伺服、带编码器

性能与可选项

• 可选 1 µm 线性编码器实现高精度定位
• 无限旋转配合 1 arc-sec 分辨率，实现精细角度调节
• 可选电机与驱动配置，以满足速度或扭矩需求
• 开口与行程可定制，以适应不同晶圆尺寸与工艺设备

应用

• 半导体厂的晶圆搬运与光刻对位
• 精密组装、检测与计量
• 自动化贴装（pick-and-place）与测试设备

订购信息
标准配置包含列出之型号与驱动。有关定制开口、行程、编码器选项及集成支持，请联系供应商。