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XY轴位移台 XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUT旋转直线伺服电机用于晶圆操作
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, 旋转
- 类型
- 直线伺服电机
- 其他特性
- 用于晶圆操作
- 运行行程
10 mm
(0.394 in)- 速度
200 mm/s
产品介绍
XY-旋转级采用直线电机和直接转矩电机设计的XY-Rotary级，其设计的低姿态适用于晶圆处理和半导体制造行业的许多其他自动化精确定位应用。XY驱动直线电机驱动提供亚微米级的XY定位，直接驱动旋转级保证了亚微米级的性能。
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