气浮位移台 A-110 PIglide LC series线性线性电机驱动高精度
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 线性电机驱动
- 其他特性
- 高精度, 位置编码器式, 气浮
- 运行行程
50 mm, 100 mm, 200 mm, 300 mm, 400 mm
(1.969 in, 3.937 in, 7.874 in, 11.811 in, 15.748 in)- 速度
0.5 m/s, 1 m/s
(1.64 ft/s, 3.28 ft/s)- 重复精度
0.1 µm
产品介绍
- 扫描应用或高精度定位的理想之选
- 与无尘室兼容
- 运动平台尺寸 160 mm × 200 mm
- 负载能力达 100 N
PIglide 定位系统配有磁性直线电机、磁性预载空气轴承和光学直线光栅：无接触、无摩擦运动，实现最高精度和可靠性
- 编码器
- PIglide 过滤器和空气准备套件
- 单轴和多轴运动控制器
- XY 设置和单独配置
- 花岗岩底板和减震系统
应用领域
PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。
由于无摩擦运动，不会产生微粒，因此 PIglide 平台是洁净室应用的理想选择。
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