气浮位移台 A-121 PIglide AT1 series

线性线性电机驱动多轴

- 扫描应用或高精度定位的理想之选 - 与无尘室兼容 - 运动平台尺寸 115 毫米 × 115 毫米 - 外形小巧，60 毫米起 - 分辨率达 1 纳米 产品概览 PIglide 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度。预载空气轴承结构支持任何方向的安装。 附件和选件 编码器 PIglide 过滤器和空气准备套件 多轴运动控制器和直接驱动装置 XY 设置和单独配置 电缆轨道变化 用于垂直装配的平衡选项 花岗岩底板和减震系统 应用领域 PIglide 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学和半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此 PIglide 平台非常适合洁净室应用。